Luftqualitätssensor
Der MP501-Gassensor ist ein Luftqualitäts-Gassensor. Er wird mit einem mehrschichtigen Dickfilm-Herstellungsverfahren gefertigt, bei dem auf beiden Seiten eines miniaturisierten Al2O3-Keramiksubstrats jeweils ein Heizer und eine Metalloxid-Halbleiter-Gasschicht gebildet werden, die über Elektrodenleitungen herausgeführt und in einem TO-5-Metallgehäuse verpackt sind. Wenn in der Umgebungsluft das zu detektierende Gas vorhanden ist, ändert sich die Leitfähigkeit des Sensors; je höher die Konzentration dieses Gases ist, desto höher ist die Leitfähigkeit des Sensors.
