Gas mass flow controller
Der SFC4000 Gasdurchflussregler bietet eine schnelle und präzise Durchflussregelung über einen sehr breiten Bereich. Basierend auf der CMOSens®-Technologie wird das digital kalibrierte und temperaturkompensierte Sensorsignal direkt in ein analoges Signal zur Ventilsteuerung umgewandelt. Dank dieses Prinzips ist dieser Massendurchflussregler unempfindlich gegenüber elektromagnetischen Störungen.