Sensor für flüchtige organische Verbindungen (VOC)
Der MP502-Gassensor ist ein Luftqualitäts-Gassensor zur Messung von VOC-Gasen. Er verwendet ein mehrschichtiges Dickfilm-Herstellungsverfahren, bei dem auf beiden Seiten eines miniaturisierten Al2O3-Keramiksubstrats jeweils ein Heizer und eine Metalloxid-Halbleiter-Gasschicht gebildet werden, die über Elektrodenleitungen herausgeführt und in einem TO-5-Metallgehäuse verpackt sind. Wenn in der Umgebungsluft das zu messende Gas vorhanden ist, ändert sich die Leitfähigkeit des Sensors; je höher die Konzentration dieses Gases ist, desto höher ist die Leitfähigkeit des Sensors.
