Capteur de débit massique de gaz Siargo des États-Unis, puce de troisième génération mise à niveau
Le capteur de débit massique de gaz de la série FS4300 peut mesurer directement le débit massique de gaz, sans nécessiter de configuration de dérivation. La pression de travail de ce capteur est augmentée à 0,8 MPa, et la plage de mesure couvre de 0 à 5 SLPM à 0 à 50 SLPM.