États-Unis Siargo contrôleur de débit massique de gaz MEMS
Le contrôleur de débit massique MFC2000 peut être utilisé pour le contrôle du débit de gaz non corrosifs, couvrant un débit massique de 50 mLn/min à 200 Ln/min, et peut fournir un contrôle par signal analogique 0~5V ou 4~20mA, ou un contrôle par signal numérique RS485 Modbus.1