产品介绍
AMTAS200Sシリーズのガス質量流量コントローラは、ガス流量の制御と測定において優れた性能を発揮し、測定結果の精度と信頼性を大幅に向上させます。本製品は多様な信号出力に対応し、デジタル信号、1~5Vアナログ信号、4~20mAアナログ信号を含み、各種システムとシームレスに接続できます。LCDディスプレイを搭載し、バックグラウンドのメニューバーから流量、通信アドレス、ボーレートなどのパラメータを簡単に設定でき、操作が便利です。広電圧電源設計(+12~+36 VDC)により、さまざまな作業シーンに適用でき、安定した動作を実現します。標準的でオープンな通信プロトコルを採用し、お客様の開発を支援し、制御・収集ソフトウェアの自作開発を容易にします。さらに、強力な無料クライアント上位機ソフトウェアが付属し、デバイスのデバッグと日常操作を迅速に完了でき、ユーザーエクスペリエンスを向上させます。
主な応用分野
- 半導体製造 — プロセスガスの精密流量制御に最適で、成膜やエッチング工程での再現性向上に貢献します。
- 化学分析 — ガスクロマトグラフィーや質量分析計などの分析機器において、キャリアガスや反応ガスの流量を正確に制御します。
- 環境モニタリング — 大気汚染物質の測定や排出ガス監視システムにおいて、サンプリングガスの流量を安定供給します。
- 医療・バイオ — 呼吸器や麻酔器などの医療機器において、酸素や麻酔ガスの流量を高精度に管理します。
- 燃料電池 — 燃料電池の水素や空気の供給量を制御し、発電効率の最適化と安定運転を実現します。
キーワード：ガス質量流量コントローラ, マスフローコントローラ, 流量制御機器, デジタル流量計, アナログ出力, RS485, EtherCAT, 多ガス対応
