Capteur de débit de gaz
La série FS5001B de capteurs de débit de gaz est spécialement conçue pour la mesure et le contrôle de processus des débits de gaz faibles. Cette série de capteurs utilise la puce de capteur de débit MEMS (système micro-électromécanique) développée indépendamment par notre société, et convient à divers gaz propres et secs. Le capteur adopte un montage en surface, ce qui rend les dimensions d'installation plus compactes et permet facilement l'intégration de plusieurs capteurs dans un espace restreint.
