产品介绍
AMTAMF6600シリーズのガス質量流量計は、当社が独自に開発したMEMS流量センシングチップを採用しており、各種の清浄で乾燥したガスの流量測定に適しています。長年にわたり、ロータメーターは低コストのガスプロセス制御に広く使用されてきましたが、その光電デジタル変換方式は、現在の精度、コスト、デジタル技術の面での発展要求に応えられなくなっています。AMTAMF6600は機械的取り付け寸法においてロータメーターと互換性があり、高精度の質量流量測定・制御を実現するだけでなく、デジタル遠隔伝送機能も備えています。
このシリーズは多様な測定範囲を提供し、さまざまなアプリケーションシーンに柔軟に対応できます。各製品は出荷前に厳格なテストと校正を行い、高品質な納品を確保しています。
主な応用分野
- 半導体製造 — プロセスガスの精密流量制御とモニタリング
- 分析機器 — ガスクロマトグラフィーなどのキャリアガス流量管理
- 医療用呼吸器 — 酸素や医療用空気の正確な流量測定
- 産業燃焼制御 — 燃焼プロセスにおける燃料ガスと空気の流量調整
- 研究開発 — 実験室でのガス流量実験とデータ収集
キーワード:ガス質量流量計,デジタル流量計,MEMS流量センサー,高精度流量計,RS485流量計,ガス流量測定,産業用流量計,AMTAMF6600