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AMTAMF6600デジタル表示ガス質量流量計AMTAMF6600
AMTAMF6600デジタル表示ガス質量流量計

AMTAMF6600デジタル表示ガス質量流量計 - AMTAMF6600

参数 数値
流量範囲
(空気/窒素/アルゴン/二酸化炭素)
0.01~1, 0.02~2, 0.05~5, 0.1~10,
0.2~20, 0.5~50, 1~100, 2~200SLPM
測定範囲比 100:1
精度 ±3.0%F.S.
再現性 ±1%F.S.
出力ドリフト ±0.12%/℃
動作電源 9~24VDC
出力方式 RS485
表示方式 LCDバックライト表示
最大動作圧力 0.8MPa
工作温度 -10~+60℃
产品型号: AMTAMF6600

产品介绍

AMTAMF6600シリーズのガス質量流量計は、当社が独自に開発したMEMS流量センシングチップを採用しており、各種の清浄で乾燥したガスの流量測定に適しています。長年にわたり、ロータメーターは低コストのガスプロセス制御に広く使用されてきましたが、その光電デジタル変換方式は、現在の精度、コスト、デジタル技術の面での発展要求に応えられなくなっています。AMTAMF6600は機械的取り付け寸法においてロータメーターと互換性があり、高精度の質量流量測定・制御を実現するだけでなく、デジタル遠隔伝送機能も備えています。

このシリーズは多様な測定範囲を提供し、さまざまなアプリケーションシーンに柔軟に対応できます。各製品は出荷前に厳格なテストと校正を行い、高品質な納品を確保しています。

主な応用分野

  • 半導体製造 — プロセスガスの精密流量制御とモニタリング
  • 分析機器 — ガスクロマトグラフィーなどのキャリアガス流量管理
  • 医療用呼吸器 — 酸素や医療用空気の正確な流量測定
  • 産業燃焼制御 — 燃焼プロセスにおける燃料ガスと空気の流量調整
  • 研究開発 — 実験室でのガス流量実験とデータ収集

キーワード:ガス質量流量計,デジタル流量計,MEMS流量センサー,高精度流量計,RS485流量計,ガス流量測定,産業用流量計,AMTAMF6600