AMTAMF6600 디지털 디스플레이 기체 질량 유량계 - AMTAMF6600
| 파라미터 | 수치 |
|---|---|
| 유량 범위 (공기/질소/아르곤/이산화탄소) |
0.01~1, 0.02~2, 0.05~5, 0.1~10, 0.2~20, 0.5~50, 1~100, 2~200SLPM |
| 측정 범위 비율 | 100:1 |
| 정확도 | ±3.0%F.S. |
| 반복성 | ±1%F.S. |
| 출력 드리프트 | ±0.12%/℃ |
| 작동 전원 | 9~24VDC |
| 출력 방식 | RS485 |
| 표시 방식 | LCD 백라이트 디스플레이 |
| 최대 작동 압력 | 0.8MPa |
| 작동 온도 | -10~+60℃ |
제품 모델: AMTAMF6600
제품 소개
AMTAMF6600 시리즈 기체 질량 유량계는 당사가 자체 개발한 MEMS 유량 센싱 칩을 채택하여 각종 청정 건조 기체의 유량 측정에 적합합니다. 오랫동안 로터 유량계는 저비용 기체 공정 제어에 널리 사용되어 왔지만, 광전 디지털 변환 방식을 채택한 것은 현재 정밀도, 비용 및 디지털 기술 측면의 발전 요구를 충족할 수 없습니다. AMTAMF6600은 기계적 설치 치수에서 로터 유량계와 호환되며, 고정밀 질량 유량 측정 및 제어를 실현할 뿐만 아니라 디지털 원격 전송 기능도 갖추고 있습니다.
이 시리즈는 다양한 측정 범위를 제공하여 다양한 응용 시나리오에 유연하게 적응할 수 있습니다. 모든 제품은 출하 전에 엄격한 테스트와 교정을 거쳐 고품질로 납품됩니다.
주요 응용 분야
- 반도체 제조 — 공정 가스의 정밀한 유량 제어 및 모니터링에 사용됩니다.
- 의료 장비 — 호흡기, 마취기 등 의료 기기의 기체 유량 측정 및 제어에 적용됩니다.
- 환경 모니터링 — 대기 오염 물질 측정 및 배출 가스 모니터링 시스템에 사용됩니다.
- 연구 실험실 — 화학 반응, 분석 기기 등 실험실에서의 정밀 기체 유량 제어에 적합합니다.
- 산업 자동화 — 공압 시스템, 가스 혼합 및 공정 제어에 널리 사용됩니다.
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