瑞士Neroxis热导式气体传感器
Теплопроводные газовые датчики изготавливаются на кремниевых пластинах с использованием тонкопленочного осаждения и технологии кремниевой микромеханики. Устройство может определять концентрацию газа в бинарных или тройных газовых смесях.
