Швейцарский Neroxis теплопроводный газовый датчик - серия MTCS2200
Кремниевый микромеханический датчик, чрезвычайно малый размер (3,5 x 3,5 мм2), подходит для микро-объемов газа (20 мм3)
Короткая постоянная времени (постоянная времени мембраны <5 мс)
Низкая мощность, высокая чувствительность и минимальная мощность нагрева (< 6 мВт)
Не зависит от расхода
产品介绍
Швейцарский Neroxis теплопроводный газовый датчик MTCS2200 серия Описание:
Теплопроводные газовые датчики изготавливаются на кремниевых пластинах с использованием тонкопленочного осаждения и технологии кремниевой микромеханики. Устройство может определять концентрацию газа в бинарных или тройных газовых смесях.
Датчик закреплен на кремниевой опоре, которая также позволяет газообмен под мембраной. Над или под мембраной находится микроструктура, состоящая из полости, анизотропно вытравленной в кремнии. Полость между мембраной и более холодной частью является областью измерения теплопроводности газа. Измеряемый газ диффундирует через боковые отверстия в полость над нагретой мембраной, что предотвращает возмущения потока. Теплопередача датчика зависит от теплопроводности газа вокруг мембраны. Такие датчики обычно используют схему с постоянным током для измерения газа. Концентрация газа напрямую связана с разницей температур [δT = Tm – Tamb], которая измеряется через изменение электрической мощности.
Швейцарский Neroxis теплопроводный газовый датчик MTCS2200 серия Особенности:
Швейцарский Neroxis теплопроводный газовый датчик MTCS2200 серия Применение:
Обнаружение точек приготовления в микроволновых печах
Швейцарский Neroxis теплопроводный газовый датчик MTCS2200 серия Параметры:
Швейцарский Neroxis теплопроводный газовый датчик MTCS2200 серия Выбор модели:
| Информация для заказа |
||
| Модель: MTCS 220X – Y - Z |
||
| X |
Y |
Z |
| 1: Бинарная смесь 2:CH4 3:CO2 4:H2, He 5: CFC, фреон 6:Ar, Ne, N2, O2 |
1:TO5-4 2:TO8 3:TO5-(6+2) |
1: Алюминиевая металлизация и проволочная сварка 2: Золотая металлизация и проволочная сварка |
