产品介绍
矽翔微机电系统有限公司（Siargo Ltd.）提供很好的MEMS流量传感器技术及产品，以满足客户广泛的应用需求。本手册为现有定型产品的使用说明，矽翔微机电系统有限公司也能够根据客户的要求设计和定制产品。
美国Siargo MEMS 气体质量流量控制器 流量传感器 MFC1600系列 产品概述：
本产品说明书提供了MFC1600系列气体质量流量控制器的基本信息，可用于非腐蚀性气体流量控制，涵盖质量流量50mLn/min~20Ln/min，可提供0~5VDC或4~20mA模拟信号控制，或RS485Modbus数字信号控制。本产品说明书包含性能指标、机械尺寸、安装及保修、客户服务及订货等信息。MFC1600质量流量控制器的控制范围可达100:1，可工作在0.1~0.8MPa，0~55℃，机械接口可选双卡套、G螺纹或快拧接头，并可定制其他机械接口。
MFC1600质量流量控制器采用本公司专有的MEMS流量传感芯片，集成了时域流量传感技术和智能电子技术。与市场上传统的量热式流量传感技术相比，这种独特的时域流量传感技术消除了一些常见气体的敏感性。而对于另外一些敏感性气体，可以配合软件实现气体识别。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料钝化，并结合防水、防油纳米涂层，产品性能和可靠性得以大幅提高。时域流量传感技术还提供了更好的线性度，并使温度效应大幅降低。
备注：mLn/min和Ln/min表示在标准状态（0℃，101.325kPa）下的标准流量。
美国Siargo MEMS 气体质量流量控制器 流量传感器 MFC1600系列 产品特点：
◆质量流量，时域传感技术◆量程比100：1
◆压力范围0.1~0.8MPa
◆可测量多种气体不需要特别修正
◆机械接口可定制
◆各种标准通讯选项可供选择
