제품 소개
실샹 미세전자기계시스템 유한공사(Siargo Ltd.)는 우수한 MEMS 유량 센서를 제공합니다기술 및 제품을 제공하여 고객의 폭넓은 응용 요구를 충족합니다. 본 매뉴얼은 기존 정형 제품의 사용 설명서이며, 실샹실샹 미세전자기계시스템 유한공사는 고객의 요구에 따라 제품을 설계하고 맞춤 제작할 수도 있습니다.
미국 Siargo MEMS 기체 질량 유량 컨트롤러 유량 센서MFC1600 시리즈제품 개요:
본 제품 설명서는 MFC1600 시리즈 기체 질량 유량 컨트롤러의 기본 정보를 제공하며, 비부식성 기체 유량 제어에 사용할 수 있으며, 질량 유량 50mLn/min~20Ln/min을 포함하고, 0~5VDC 또는4~20mA 아날로그 신호 제어 또는 RS485 Modbus 디지털 신호 제어. 본 제품 설명서에는 성능사양, 기계적 치수, 설치 및 보증, 고객 서비스 및 주문 등의 정보.MFC1600 질량 유량 컨트롤러의 제어 범위는 100:1에 달하며, 0.1~0.8MPa에서 작동할 수 있습니다.0~55℃, 기계적 인터페이스는 더블 페룰, G 나사 또는 퀵 커넥터를 선택할 수 있으며, 기타 기계적 인터페이스도 맞춤 제작 가능합니다.
MFC1600 질량 유량 컨트롤러는 당사 고유의 MEMS 유량 센싱 칩을 채택하여 시간 영역유량 센싱 기술과 지능형 전자 기술. 시장의 기존 열식 유량 센싱 기술과 비교하여 이 독특한독특한 시간 영역 유량 센싱 기술은 일부 일반 기체에 대한 민감성을 제거합니다.另外 일부 민감한 기체에 대해서는기체의 경우 소프트웨어와 연동하여 기체 인식을 실현할 수 있습니다. MEMS 칩 표면은 질화규소 세라믹 재료로 패시베이션 처리되었으며, 결방수 및 방유 나노 코팅을 결합하여 제품 성능과 신뢰성이 크게 향상되었습니다. 시간 영역 유량 센싱 기술은 또한더 나은 선형성을 제공하고 온도 영향을 크게 감소시킵니다.
비고: mLn/min 및 Ln/min은 표준 상태(0℃, 101.325kPa)에서의 표준 유량을 나타냅니다.
미국 Siargo MEMS 기체 질량 유량 컨트롤러 유량 센서MFC1600 시리즈제품 특징:
◆질량 유량, 시간 영역 센싱 기술◆측정 범위 비율 100:1
◆압력 범위 0.1~0.8MPa
◆다양한 기체를 특별한 보정 없이 측정 가능
◆기계적 인터페이스 맞춤 제작 가능
◆다양한 표준 통신 옵션 선택 가능
주요 응용 분야
- 산업용 가스 계량 — 공정 가스의 정밀한 질량 유량 측정 및 제어가 필요한 화학, 석유화학, 제약 산업에 적합합니다.
- 공정 제어 — 반도체 제조, 식품 가공, 금속 처리 등 정확한 가스 유량 제어가 요구되는 자동화 공정에 사용됩니다.
- 실험실 및 연구 — 다양한 기체를 정밀하게 측정해야 하는 분석 기기, 실험실 테스트 및 연구 개발 응용 분야에 적합합니다.
- 환경 모니터링 — 대기 오염 물질 및 배출 가스의 연속 측정을 위한 환경 모니터링 시스템에 통합됩니다.
- 에너지 관리 — 천연가스, 수소 등 에너지 가스의 유량 측정 및 계량을 위한 에너지 관리 시스템에 활용됩니다.
키워드：Siargo MFC1600, MEMS 기체 질량 유량 컨트롤러, 기체 유량 센서, 질량 유량 컨트롤러, Siargo 유량계, MEMS 유량 센서, 기체 질량 유량계, 산업용 유량 컨트롤러
