产品介绍
AMTAGP3シリーズは広範囲の圧力測定に対応するピラニ複合真空計であり、先進的な気圧センサーモジュールとMEMSピラニ真空センサーチップを統合しています。この真空計は機能が強力なだけでなく、操作も簡単で、カラー液晶ディスプレイ(TFT-LCD)と直感的なボタン操作を備え、アナログ電圧出力とRS485通信プロトコルを提供し、ユーザーがさまざまなデバイスやシステムと接続してデータ交換を行うのに便利です。
AMTAGP3シリーズはPa、Torr、mbarの3つの一般的な単位の切り替えに対応し、標準のKF16圧力インターフェースを備え、必要に応じて異なるアダプターを選択でき、さまざまなデバイスやシステムとのシームレスな接続を確保します。
出荷前に、AMTAGP3シリーズの精度、再現性、応答時間などの指標について厳格なテストと校正を行い、各真空計が卓越した性能を発揮できることを確保しています。
主な応用分野
- 半導体製造 — スパッタリング、蒸着、エッチングなどのプロセスにおける真空チャンバー内の圧力監視に最適です。
- 真空炉 — 熱処理や焼結プロセスにおいて、広範囲の真空度を正確に測定し、品質管理を支援します。
- 研究開発 — 材料科学や物理学の研究において、実験室レベルの真空システムの圧力測定に使用されます。
- コーティング装置 — PVDやCVDコーティング装置内の真空度をリアルタイムで監視し、成膜品質を確保します。
- 分析機器 — 質量分析計や電子顕微鏡などの分析機器における真空環境のモニタリングに適しています。
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