제품 소개
AMTAGP3 시리즈는 넓은 범위의 압력 측정이 가능한 피라니 복합 진공계로, 첨단 기압 센서 모듈과 MEMS 피라니 진공 센서 칩을 통합했습니다. 이 진공계는 기능이 강력할 뿐만 아니라 조작이 간편하며, 컬러 액정 디스플레이(TFT-LCD)와 직관적인 버튼 제어를 갖추고 있고, 아날로그 전압 출력과 RS485 통신 프로토콜을 제공하여 사용자가 다양한 장비 및 시스템과 연결하고 데이터를 교환할 수 있습니다.
AMTAGP3 시리즈는 Pa, Torr, mbar 세 가지 일반 단위의 전환을 지원하며, 표준 KF16 압력 인터페이스를 갖추고 있어 필요에 따라 다양한 어댑터를 선택하여 각종 장비 및 시스템과 원활하게 연결할 수 있습니다.
출하 전, AMTAGP3 시리즈의 정밀도, 반복성, 응답 시간 등의 지표에 대해 엄격한 테스트와 교정을 실시하여 모든 진공계가 뛰어난 성능을 발휘할 수 있도록 보장했습니다.
주요 응용 분야
- 반도체 제조 — 스퍼터링, 에칭, CVD 등 진공 공정에서 정밀한 압력 모니터링 및 제어에 사용됩니다.
- 진공 코팅 — 디스플레이, 광학 코팅, 장식 코팅 등의 진공 증착 공정에서 진공도를 측정하고 유지합니다.
- 연구 및 개발 — 재료 과학, 물리학, 화학 연구실에서 진공 시스템의 압력을 정확하게 측정하고 데이터를 기록합니다.
- 산업용 진공 시스템 — 진공 건조, 진공 탈기, 진공 이송 등 다양한 산업 공정에서 진공 수준을 모니터링합니다.
- 분석 기기 — 질량 분석기, 전자 현미경 등 고진공이 필요한 분석 장비의 진공 상태를 측정합니다.
키워드：피라니 진공 게이지, 복합 진공 게이지, AMTAGP3, 진공 압력 센서, 넓은 범위 진공계, RS485 진공 게이지, MEMS 피라니 센서, 산업용 진공 측정기
