AMTAGP3-Serie Pirani-Kombivakuummeter - AMTAGP3-Serie
| 参数 | Wert |
|---|---|
| Produktname | AMT-Kombivakuummeter (Pirani und Kaltkathode) |
| 供电电压 | 15~30VDC |
| 量程 | 1×10⁻⁶~1×10⁵Pa |
| Gas | |
| Genauigkeit | ±30 % vom Messwert |
| Ausgang | |
| Anzeigeeinheit | |
| Arbeitstemperatur | 5~55℃ |
| 响应时间 | 300ms |
| Anschlussart (optional mit Adapter) | ★KF25 |
| Kommunikationsschnittstelle | RJ45-Schnittstelle |
Produktvorstellung
Die AMTAGP3-Serie ist ein Pirani-Kombivakuummeter für die Druckmessung über einen weiten Bereich, das ein fortschrittliches Luftdrucksensormodul und einen MEMS-Pirani-Vakuumsensorchip integriert. Dieses Vakuummeter ist nicht nur leistungsstark, sondern auch einfach zu bedienen. Es verfügt über ein Farb-LCD-Display (TFT-LCD) und eine intuitive Tastensteuerung, bietet analogen Spannungsausgang und RS485-Kommunikationsprotokoll, was die Verbindung und den Datenaustausch mit verschiedenen Geräten und Systemen erleichtert.
Die AMTAGP3-Serie unterstützt die Umschaltung zwischen den drei gängigen Einheiten Pa, Torr und mbar, ist mit einem standardmäßigen KF16-Druckanschluss ausgestattet und kann je nach Bedarf mit verschiedenen Adaptern ausgestattet werden, um eine nahtlose Verbindung mit verschiedenen Geräten und Systemen zu gewährleisten.
Vor der Auslieferung wurden die Genauigkeit, Wiederholbarkeit, Ansprechzeit und weitere Kenngrößen der AMTAGP3-Serie strengen Tests und Kalibrierungen unterzogen, um sicherzustellen, dass jedes Vakuummeter eine herausragende Leistung erbringt.
Hauptanwendungsbereiche
- Halbleiterfertigung — Überwachung und Steuerung von Vakuumprozessen wie Ätzen, Abscheidung und Ionenimplantation.
- Vakuumöfen — Druckmessung in Hochtemperatur-Vakuumöfen für die Wärmebehandlung und Sinterung.
- Beschichtungsanlagen — Vakuumdruckkontrolle in PVD-, CVD- und Sputter-Beschichtungssystemen.
- Forschungsinstitute — Präzise Vakuummessung in wissenschaftlichen Experimenten und Laboranwendungen.
- Weltraumtechnik — Vakuumüberwachung in Raumfahrtsimulationskammern und Testanlagen.
Schlüsselwörter：Pirani-Kombivakuummeter, Vakuummeter, Drucksensor, AMTAGP3, Vakuummessung, Kombivakuummeter, Vakuumdruckmessung, PrimeIndu
