مستشعر التدفق الدقيق - F1012
تقنية رقاقة مستشعر MEMS من الجيل الجديد
بدون انجراف، بدون تأخير
دقة عالية، سرعة استجابة سريعة، تكرارية جيدة
استهلاك منخفض للطاقة (باستخدام تيار نبضي)
قياس دقيق للتدفقات الصغيرة جداً
معاير بالكامل ومعوض لدرجة الحرارة
خرج خطي أو خاصية الجذر التربيعي؛ خرج تناظري أو رقمي
مقدمة المنتج
أولاً، وصف منتج مستشعر التدفق الدقيق F1012
مستشعر التدفق الدقيق F1012يستخدم مبدأ الديناميكا الحرارية لمراقبة تدفق الغاز في القناة، وله دقة وتكرارية جيدة. يحتوي مستشعر التدفق الدقيق F1012 علىمستشعر درجة حرارة، ويتم معايرة تعويض درجة الحرارة الخاصة لكل وحدة؛ كما أن لديه خرج جهد تناظري خطي، مما يسهل الاستخداممستشعر التدفق الدقيقF1012تتكون الشريحة من مزدوجتين حراريتين ومقاوم تسخين: المزدوجتان الحراريتان موزعتان بشكل متماثل في أعلى وأسفل مقاوم التسخين؛ مقاوم التسخين والمفاصل الحرارية للمزدوجتين الحراريتين موجودان على قاعدة عازلة حرارياً. يقوم مقاوم التسخين بتسخين المفاصل الحرارية للمزدوجتين الحراريتين. التدرج الحراري بين المفاصل الحرارية والمفاصل الباردة للمزدوجتين الحراريتين يؤدي إلى جهد خرج، أي تأثير سيبيك الجوهري. عندما يكون السائل ثابتاً، تكون خطوط تساوي الحرارة متماثلة على طول الخط المستقيم العمودي على منتصف مقاوم التسخين، وتكون درجات الحرارة في المواضع المتناظرة على جانبي مقاوم التسخين متساوية. عندما يتدفق السائل من اليمين إلى اليسار، تميل خطوط تساوي الحرارة إلى اليسار. درجات الحرارة في المواضع المتناظرة على جانبي مقاوم التسخين لم تعد متساوية. يمكن قياس فرق درجة الحرارة بواسطة المزدوجتين الحراريتين الموجودتين على جانبي مقاوم التسخين. نظراً لأن نقل الحرارة للسائل يعتمد فقط على كتلة السائل وسعته الحرارية، يمكن للمستشعر قياس تدفق كتلة السائل مباشرة.
ثانياً، خصائص مستشعر التدفق الدقيق F1012
تقنية رقاقة مستشعر MEMS من الجيل الجديد
بدون انجراف، بدون تأخير
دقة عالية، سرعة استجابة سريعة، تكرارية جيدة
استهلاك منخفض للطاقة (باستخدام تيار نبضي)
قياس دقيق للتدفقات الصغيرة جداً
معاير بالكامل ومعوض لدرجة الحرارة
خرج خطي أو خاصية الجذر التربيعي؛ خرج تناظري أو رقمي
ثالثاً، التطبيقات الرئيسية لمستشعر التدفق الدقيق F1012
الأجهزة الطبية: أجهزة التنفس، مقاييس السعة الحيوية، أجهزة التحكم في التخدير، التحكم في الأكسجين، إلخ.
التدفئة والتهوية وتكييف الهواء: أنظمة حجم الهواء المتغير (VAV)، مراقبة المرشحات، التحكم في تهوية المراوح، إلخ.
التحكم في العمليات الصناعية: التحكم في المواقد
حماية الهواء والبيئة
الأجهزة المحمولة
رابعاً، المواصفات الفنية لمستشعر التدفق الدقيق F1012
| طراز المنتج | مستشعر التدفق الدقيق F1012 | |||
| نطاق القياس | 20、30、50、100、200、500、1000、1200、2000scm | |||
| الحد الأدنى | القيمة النموذجية | الحد الأقصى | الوحدة | |
| خرج النطاق الكامل | 4.90 | 5.00 | 5.10 | V |
| خرج التدفق الصفري | 0.96 | 1.00 | 1.04 | V |
| جهد التشغيل | 7.0 | 10.0 | 14.0 | V |
| تيار التشغيل | 15 | 25 | 30 | MA |
| الدقة | - | ±1.5 | ±2.5 | %F.S |
| التكرارية | - | ±0.3 | ±0.5 | %F.S |
| الانجراف السنوي | - | ±0.1 | ±0.5 | %F.S |