مستشعر فراغ بيراني - F6000

وصف مستشعر فراغ بيراني F6000

توفر سلسلة F6000 من مستشعرات فراغ بيراني MEMS حلاً ثوريًا لقياس الفراغ. يتميز هذا المستشعر بحجم صغير للغاية، مع مزايا استهلاك طاقة فائق الانخفاض، وعمر طويل، وصيانة ميدانية منخفضة، وتكلفة منخفضة.

استنادًا إلى مبدأ "التوصيل الحراري للغاز يتناسب مع الضغط في نطاق الفراغ المنخفض"، تقوم سلسلة F6000 من مستشعرات الفراغ بقياس التغيرات الدقيقة في المقاومة على عنصر التسخين بسبب انتقال الحرارة إلى الغاز المحيط.
يتكون عنصر التسخين (أي مقاومة القياس) من مقاومة فيلم بلاتيني موضوعة على غشاء عازل حراري. الغشاء معلق فوق تجويف بعمق 25 ميكرومتر تمت معالجته دقيقًا، وسطح قاع التجويف موازٍ للغشاء لضمان قياس دقيق لمعدل انتقال الحرارة. نظرًا لأن حجم الغاز المقاس صغير جدًا (أي حجم التجويف صغير)، يوفر مستشعر Weizheng استهلاك طاقة فائق الانخفاض وزمن استجابة سريع.
توفر سلسلة F6000 من مستشعرات الفراغ أيضًا مقاومة مرجعية لها نفس معامل درجة حرارة المقاومة (TCR) مثل مقاومة القياس، موضوعة على ركيزة شريحة المستشعر. يمكن لدائرة المستشعر استخدامها لتعويض درجة الحرارة المحيطة.

بفضل الموثوقية العالية، والتكلفة المنخفضة، وسهولة الاستخدام، واستهلاك الطاقة فائق الانخفاض، أصبحت تقنية بيراني المصغرة المعالجة بتقنية MEMS معيارًا صناعيًا. تساعد سلسلة F6000 من مستشعرات فراغ بيراني MEMS العملاء على الاستفادة الكاملة من هذا الاتجاه لتحسين منتجاتهم الحالية وتطوير منتجات جديدة.

مستشعر فراغ بيراني F6000الحدود القصوى المطلقة:
درجة حرارة التشغيل: -40 درجة مئوية إلى 125 درجة مئوية (تتوفر نماذج بدرجة حرارة أعلى)
الرطوبة: 0 إلى 100٪ رطوبة نسبية، بدون تكاثف
مقاومة الصدمات: 1000 جرام
الضغط الزائد: 27.5 بار

مستشعر فراغ بيراني F6000ميزات المستشعر

استهلاك طاقة فائق الانخفاض أقل من 5 ملي واط
زمن استجابة سريع أقل من 5 ملي ثانية
مقاومة للصدمات حتى 1000 جرام
يمكن قياس حجم غاز منخفض يصل إلى 0.1 سم مكعب
ضوضاء منخفضة
دقة عالية
استشعار درجة الحرارة على نفس الشريحة
استقرار طويل الأمد
قابل للتنظيف بالنقع في المذيبات لإطالة العمر الافتراضي

مستشعر فراغ بيراني F6000التطبيقات الرئيسية

أجهزة التحليل
كشف التسرب في الأنظمة المغلقة باستخدام فراغ أولي
معدات أشباه الموصلات
آلات التغليف بالفراغ
مقياس فراغ رقمي محمول
أنظمة ميكانيكية صغيرة (مثل المضخات) لتحقيق درجة الفراغ المطلوبة
مفتاح فراغ منخفض التكلفة للتحقق من الفراغ أقل من 1 تور