XEN-3880-P2RW导热系数计测量周围的热导率气体,原理是气体的不同它们的导热性好,可以用来测量气体浓度在二元混合物或准二元混合物,其中成分气体具有不同的导热系数。也可以是用于测量真空系统中的压力。
德国 HLP 公司 TCS205 气体热导传感器,采用先进的 MEMS 加工技术生产,利用被测组份和参考气体的热导系数不同而响应的浓度型传感器。
MTCS2305压力计根据皮拉尼原理采用热导率测量,是专用MEMS装置,为小型TO39封装。
热导式气体传感器采用薄膜沉积和硅微机械加工技术在硅片上制成。该装置可测定二元或三元气体混合物的气体浓度。
MTCS2300压力计是专用MEMS器件,根据皮拉尼原理进行热导率测量,为小型TO8或TO39封装。
TCS208F气体热导传感器,采用MEMS加工技术生产,利用被测组份和参考气体的热导系数不同而响应的浓度型传感器。
XEN-5320通过测定微型机械加热元件的温度提升确定气体组分