Compteur de particules de poussière laser - Détection de la propreté en atelier de semi-conducteurs - SKA/LZ-JSQ
Performances de mesure
• Principe de détection : méthode de diffusion lumineuse
• Débit d'échantillonnage : 2,83 L/min (0,1 cfm, le plus couramment utilisé dans les salles propres) ; option 28,3 L/min
• Canaux de mesure granulométrique : standard 0,3 μm, 0,5 μm, 1,0 μm, 2,0 μm, 5,0 μm, 10 μm
• Plage de mesure : 0～999999 particules/L
• Répétabilité : ±10 %
• Période d'échantillonnage : réglable de 1 à 60 s
• Source lumineuse : diode laser
Présentation du produit
Compteur de particules de poussière laser - Détection de la propreté en atelier de semi-conducteurs - Présentation du produit
Le compteur de particules de poussière laser est un instrument de détection de particules de poussière de haute précision basé sur le principe de diffusion laser. Mots-clés de recherche : compteur de particules de poussière laser, détection de la propreté en atelier de semi-conducteurs, compteur de particules de poussière. Cet instrument peut détecter en continu le nombre de particules de poussière de différentes tailles dans un atelier de semi-conducteurs, adapté à la surveillance des environnements propres tels que la fabrication de plaquettes, le test d'assemblage et les étapes de photolithographie. Dans la détection de la propreté en atelier de semi-conducteurs, le compteur de particules de poussière laser peut refléter en temps réel les variations de propreté, aidant les entreprises à identifier rapidement les sources de pollution et à prendre des mesures de contrôle.
Compteur de particules de poussière laser - Détection de la propreté en atelier de semi-conducteurs - Principe de fonctionnement
Le compteur de particules de poussière laser utilise une source laser pour éclairer le flux d'échantillonnage. Lorsque les particules de poussière traversent le faisceau laser, elles produisent une lumière diffusée, qui est reçue par un photodétecteur et convertie en signal électrique, puis la taille et la concentration des particules sont calculées en fonction de l'amplitude et du nombre de signaux. Dans la détection de la propreté en atelier de semi-conducteurs, le compteur de particules de poussière laser peut mesurer simultanément plusieurs canaux de taille de particules tels que 0,1 μm, 0,2 μm, 0,3 μm, 0,5 μm, 1,0 μm, 5,0 μm. Cet instrument a une vitesse de réponse rapide, un débit d'échantillonnage stable, prend en charge les sorties RS485, Modbus et 4-20 mA, et peut être intégré au système de surveillance de la salle blanche.
Compteur de particules de poussière laser - Détection de la propreté en atelier de semi-conducteurs - Scénarios d'application
Le compteur de particules de poussière laser est largement utilisé dans les zones de photolithographie, de gravure, de couches minces et de test d'assemblage des ateliers de semi-conducteurs. Dans la détection de la propreté en atelier de semi-conducteurs, le compteur de particules de poussière laser peut être installé à proximité des équipements de processus critiques, aux entrées et sorties du personnel et dans les conduits de retour d'air. L'instrument peut être couplé au système de climatisation et de purification, aux alarmes sonores et lumineuses et à la plateforme de surveillance pour réaliser un réglage automatique et une alarme. Pour les ateliers de semi-conducteurs nécessitant une surveillance continue, le compteur de particules de poussière laser peut également former un réseau de surveillance multipoint, téléchargeant uniformément vers le centre de contrôle.
Compteur de particules de poussière laser - Détection de la propreté en atelier de semi-conducteurs - Avantages techniques
Le compteur de particules de poussière laser présente les avantages d'une haute précision de détection, d'une vitesse de réponse rapide et d'une bonne stabilité. Dans la détection de la propreté en atelier de semi-conducteurs, le compteur de particules de poussière laser utilise une source laser à longue durée de vie et une conception optique anti-pollution, adaptée au fonctionnement à long terme. Cet instrument prend en charge le stockage de données, l'impression et la communication à distance, avec une maintenance facile. Lors du choix d'un compteur de particules de poussière laser, il convient de prêter attention aux canaux de taille de particules, au débit d'échantillonnage, à la plage de détection, à la précision et au mode de communication, afin de garantir la satisfaction des besoins de détection de la propreté en atelier de semi-conducteurs
Principaux domaines d'application
- Fabrication de semi-conducteurs — Surveillance de la propreté particulaire dans les salles blanches pour la fabrication de wafers, assurant un environnement sans contamination.
- Assemblage et test de puces — Contrôle des particules pendant l'assemblage et le test des semi-conducteurs pour maintenir des rendements élevés.
- Lithographie — Détection en temps réel des particules dans les zones de photolithographie pour éviter les défauts sur les wafers.
- Salles blanches pharmaceutiques — Surveillance de la contamination particulaire dans les environnements pharmaceutiques et les salles blanches.
- Fabrication de disques durs — Contrôle de la propreté de l'air dans la production de disques durs et de composants électroniques sensibles.
Mots-clés：compteur de particules laser, détection propreté semi-conducteurs, compteur particules poussière, salle blanche, contrôle contamination, particules aériennes, métrologie particules, surveillance environnementale
