Лазерный счетчик частиц пыли —检测 чистоты в полупроводниковом цехе - SKA/LZ-JSQ

Лазерный счетчик частиц пыли —检测 чистоты в полупроводниковом цехе - Обзор продукта
Лазерный счетчик частиц пыли — это высокоточный прибор для обнаружения частиц пыли, основанный на принципе лазерного рассеяния. Поисковые ключевые слова: лазерный счетчик частиц пыли,检测 чистоты в полупроводниковом цехе, счетчик частиц пыли. Прибор обеспечивает непрерывное обнаружение количества частиц пыли различного размера в полупроводниковом цехе и подходит для мониторинга чистых сред при производстве пластин, сборке и тестировании, а также на этапах литографии. При检测 чистоты в полупроводниковом цехе лазерный счетчик частиц пыли позволяет в реальном времени отражать изменения чистоты, помогая предприятиям своевременно выявлять источники загрязнения и принимать меры контроля.

Лазерный счетчик частиц пыли —检测 чистоты в полупроводниковом цехе - Принцип работы
Лазерный счетчик частиц пыли использует лазерный источник для облучения потока отбираемой пробы; когда частицы пыли проходят через лазерный луч, возникает рассеянный свет, который принимается фотодетектором и преобразуется в электрический сигнал, а затем по амплитуде и количеству сигналов рассчитываются размер и концентрация частиц. При检测 чистоты в полупроводниковом цехе лазерный счетчик частиц пыли может одновременно измерять несколько каналов по размеру частиц: 0,1 мкм, 0,2 мкм, 0,3 мкм, 0,5 мкм, 1,0 мкм, 5,0 мкм и другие. Прибор обладает быстрым откликом, стабильным расходом отбора проб, поддерживает выходы RS485, Modbus и 4-20 мА и может подключаться к системе мониторинга чистых помещений.

Лазерный счетчик частиц пыли —检测 чистоты в полупроводниковом цехе - Сценарии применения
Лазерный счетчик частиц пыли широко применяется в зонах литографии, травления, тонкопленочных покрытий и сборки-тестирования полупроводниковых цехов. При检测 чистоты в полупроводниковом цехе лазерный счетчик частиц пыли может устанавливаться рядом с ключевым технологическим оборудованием, на входах и выходах для персонала и в каналах обратного воздуха. Прибор может взаимодействовать с системой кондиционирования и очистки воздуха, звуковыми и световыми сигнализаторами и платформой мониторинга для автоматической регулировки и оповещения. Для полупроводниковых цехов, требующих непрерывного мониторинга, лазерный счетчик частиц пыли также может образовывать многоточечную сеть мониторинга с единой передачей данных в центр управления.

Лазерный счетчик частиц пыли —检测 чистоты в полупроводниковом цехе - Технические преимущества
Лазерный счетчик частиц пыли обладает такими преимуществами, как высокая точность обнаружения, быстрота отклика и хорошая стабильность. При检测 чистоты в полупроводниковом цехе лазерный счетчик частиц пыли использует долговечный лазерный источник и устойчивую к загрязнению оптическую конструкцию, что подходит для длительной эксплуатации. Прибор поддерживает хранение данных, печать и удаленную связь, удобен в обслуживании. При выборе лазерного счетчика частиц пыли следует обращать внимание на каналы по размеру частиц, расход отбора проб, диапазон обнаружения, точность и способ связи, чтобы обеспечить соответствие требованиям检测 чистоты в полупроводниковом цехе