Le XEN-3880-P2RW mesure la conductivité thermique du gaz ambiant. Le principe repose sur le fait que les gaz ont différentes conductivités thermiques, ce qui permet de mesurer la concentration de gaz dans des mélanges binaires ou quasi-binaires où les gaz constitutifs ont des conductivités thermiques différentes. Il peut également être utilisé pour mesurer la pression dans les systèmes à vide.
Le capteur de conductivité thermique TCS205 de la société allemande HLP, fabriqué avec une technologie avancée de micro-usinage MEMS, est un capteur de concentration qui répond à la différence de conductivité thermique entre le gaz à mesurer et un gaz de référence.
Le manomètre MTCS2305 mesure la conductivité thermique selon le principe de Pirani. C'est un dispositif MEMS spécialisé dans un petit boîtier TO39.
Le capteur de gaz à conductivité thermique est fabriqué sur une plaquette de silicium par dépôt de couches minces et micro-usinage du silicium. Ce dispositif peut déterminer la concentration de gaz dans des mélanges binaires ou ternaires.
Le manomètre MTCS2300 est un dispositif MEMS spécialisé qui mesure la conductivité thermique selon le principe de Pirani, dans un petit boîtier TO8 ou TO39.
Le capteur de conductivité thermique TCS208F, fabriqué avec la technologie MEMS, est un capteur de concentration qui répond à la différence de conductivité thermique entre le gaz à mesurer et un gaz de référence.
Le XEN-5320 détermine la composition du gaz en mesurant l'élévation de température d'un élément chauffant micromécanique.
