製品紹介
オランダXensor熱伝導式ガスセンサーXEN-3880-P2RWの説明:
XEN-3880-PRW熱伝導率計は周囲のガスの熱伝導率を測定します。原理はガスの種類によって熱伝導率が異なることで、二元混合物または準二元混合物中のガス濃度を測定するために使用でき、成分ガスは異なる熱伝導率を持ちます。真空システム内の圧力測定にも使用できます。
センサーチップはシリコンフレームと合成膜で構成され、中央にヒーターがあり、熱電対スタックでその温度を測定し、チップと環境間の熱伝導率を膜の中心で測定します。
薄膜の上にはシリコンキャップ（屋根）があり、フィルター付きの溶接キャップ（W）が流量感度を抑制します。
オランダXensor熱伝導式ガスセンサーXEN-3880-P2RWの特徴:
二元および準二元混合物中のガスの長期安定性分析
高感度と高分解能
動作温度: -250℃〜150℃
湿度: 0〜95% RH、結露なし
温度測定Pt100 (P2)またはPt1000 (P3)素子
流量感度は無視できる程度
オランダXensor熱伝導式ガスセンサーXEN-3880-P2RW適用ガス種の測定:
水素、ヘリウム、天然ガスの測定
ヘリウムによる水素システムのテスト
包装および真空システムの真空測定
ガス濃度測定
オランダXensor熱伝導式ガスセンサーXEN-3880-P2RWのパラメータ:
| パラメータ体積 |
|
| 寸法厚さ(mm3) |
2.5*3.33*0.3 |
| TO-5ヘッド(mm2) |
9 Ф x 6
|
| ピン長さ(mm) |
14 |
| TO-5重量(g) |
0.72 |
| TO-5+キャップ+フィルター重量(g) |
1.05 |
| 出力 | |
| < 1mPa (V/W)の真空 |
130 |
| 空気圧100kPa (V/W) |
30 |
| 空気圧10 MPa (V/W) |
26 |
| 100kPa (V/W)のヘリウム中 |
7 |
| 10mPa (V/W)のヘリウム中 |
6.9 |
| 時定数 |
|
| 空気中(ms) |
9 |
| 真空中(ms) |
36 |
| 安定性 |
|
| 短期1日(ppm) |
1 |
| 長期1年(ppm) |
300 |
| サーミスタ |
|
| 膜(kK/W) |
100 |
| 膜+空気(kK/W) |
23 |
| 最大加熱電圧 |
|
| 空気中(V) |
2.5 |
| 真空中(V) |
1 |
