製品紹介
スイスNeroxis 熱伝導式ガスセンサー マイクロピラニ真空計 圧力計MTCS2300 説明:
MTCS2300圧力計は専用MEMSデバイスで、ピラニ原理に基づいて熱伝導率を測定し、小型TO8またはTO39パッケージです。
このセンサーはニッケル白金抵抗MEMS技術を採用し、大型の微機械加工された低応力窒化シリコン膜、2つの加熱用薄膜抵抗、およびバルクシリコン上の2つの補償用基準抵抗を小型パッケージに統合しています。
このMEMS構造は、電源と温度分析用のシンプルなCMOS標準集積回路と組み合わせることで、超低消費電力、優れたS/N比、耐腐食性ガスを必要とするサイズ重視の真空OEMセンシングソリューションに適しています。
スイスNeroxis 熱伝導式ガスセンサー マイクロピラニ真空計 圧力計MTCS2300 特徴:
拡張測定範囲 10-4 ~ 1000 mbar
センサー形状とセンサー抵抗が完全にマッチしたMEMS微機械加工シリコンセンサー
0.1 cm3未満の超小型センサーガス容積
ピラニ微細線から壁までの距離はシリコン微機械加工により調整され、10 µmまたは20 µmまで低減でき、優れたセンサー再現性を実現
250オームの大きな集積抵抗と小さな発熱素子を備えたMEMSシリコンセンサーにより、超低動作消費電力（< 6 mW）を実現
超高速応答時間 < 50 ms
類似の発熱抵抗と基準抵抗により、微細構造の白金ニッケル薄膜プロセスで温度補償を容易に実現
取り付け位置の影響を受けない
小型で耐衝撃性に優れる（>1000 G）
金接点を使用し、水素などの腐食性ガスに耐性
スイスNeroxis 熱伝導式ガスセンサー マイクロピラニ真空計 圧力計MTCS2300 アプリケーション:
リーク検出
推進装置
半導体製造（例：スパッタリングチャンバー）
凍結乾燥機
真空食肉包装機
真空蒸着
ロードロック
通常、ピラニ原理に基づき、電力とサイズが制限された過酷な環境での圧力測定に使用されます。例：ポータブル分析機器、小型機械式ポンプシステム
スイスNeroxis 熱伝導式ガスセンサー マイクロピラニ真空計 圧力計MTCS2300 パラメータ:
スイスNeroxis 熱伝導式ガスセンサー マイクロピラニ真空計 圧力計MTCS2300 選定:
| 注文情報 |
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| MTCS230X |
X = 1 : MTCS2301 = Al接点 |
X = 2 : MTCS2302 = Au接点 |
| 型番 |
説明 |
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| MTCS230X-0 |
センサーチップのみ、シリコンキャップなし、TO8パッケージ |
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| MTCS230X-10 |
10 µmギャップキャップ付きセンサーチップ、TO8パッケージ |
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| MTCS230X-20 |
20 µmギャップキャップ付きセンサーチップ、TO8パッケージ |
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