产品介绍
美国Siargo 气体质量流量控制器 小体积 高性能 MFC4000系列 产品描述：
本产品说明书提供了MFC4000系列气体质量流量控制器的基本信息，可用于非腐蚀性气体流量控制，涵盖质量流量50mL n/min~ 1000mLn/min，可提供0~ 5VDC或4~ 20mA模拟信号控制，或RS485Modbus数字信号控制。本产品说明书包含性能指标、机械尺寸、安装及保修、客户服务及订货等信息。
MFC4000质量流量控制器的控制范围可达100:1，可工作在为0. 1~0.8MPa,0~55C，机械接QUNF 10-32内螺纹或双卡套中3，并可定制其他机械接口。
MFC4000质量流量控制器采用本公司专有的MEMS流量传感芯片，集成了时域流量传感技术和智能电子技术。与市场上传统的量热式流量传感技术相比，这种独特的时域流量传感技术消除了一些常见气体的敏感性。而对于另外一些敏感性气体，可以配合软件实现气体识别。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料钝化，并结合防水、防油纳米涂层，产品性能和可靠性得以大幅提高。时域流量传感技术还提供了更好的线性度，并使温度效应大幅降低。
备注: mLn/min表示在标准状态(0°C，101 .325kPa)下的标准流量。
美国Siargo 气体质量流量控制器 小体积 高性能 MFC4000系列 产品特点：
采用MEMS热量传感技术
量程比100: 1
压力范围0.1~0.8MPa
可测量多种气体不需要特别修正
机械接口可定制
各种标准通讯选项可供选择
美国Siargo 气体质量流量控制器 小体积 高性能 MFC4000系列 参数：
美国Siargo 气体质量流量控制器 小体积 高性能 MFC4000系列 选型：
美国Siargo 气体质量流量控制器 小体积 高性能 MFC4000系列 尺寸：
美国Siargo 气体质量流量控制器 小体积 高性能 MFC4000系列 接口：
