Для высокотехнологичных потребностей систем нанесения покрытий мы представляем новый продукт SLQ-QT105 — датчик расхода жидкости. Это полупроводниковое решение для измерения расхода углеводородов, таких как фоторезист и растворители, со скоростью ниже 120 мл/мин. Благодаря проверенной тепловой микротехнологии он открывает новые горизонты в чувствительности, стабильности и скорости. Чрезвычайно короткое время отклика датчика расхода жидкости SLQ-QT105 позволяет точно контролировать
Датчики-реле расхода серии LG01 обнаруживают сверхнизкий расход жидкости или наличие воздуха в жидкостной системе, повышая ее надежность. Они могут измерять минимальные расходы до миллилитров в минуту и даже меньше. Датчик расхода жидкости LG01 основан на неинвазивном принципе измерения и может обнаруживать текущее состояние жидкости через стенку внутренней стеклянной капиллярной трубки. Поэтому этот датчик обладает превосходной биосовместимостью и химической стойкостью. Детектор расхода жидкости может выполнять измерения с временем отклика менее 100 миллисекунд.
Новый датчик расхода жидкости SLQ-QT500 может измерять как водные, так и углеводородные жидкости с расходом до 120 мл/мин. Это идеально подходит для широкого спектра применений в системах распыления в полупроводниковой промышленности, а также для дозирования и контроля расхода в других отраслях.
Датчики расхода жидкости серии PLF2000 заменяют механические турбинные датчики расхода. Основанные на MEMS-тепловом чипе расхода, PLF2000 обеспечивают более высокую точность и повторяемость, а также линейный цифровой выход даже при пульсациях расхода.
