XEN-3880-P2RW измеряет теплопроводность окружающего газа. Принцип основан на различии теплопроводности газов, что позволяет измерять концентрацию газа в бинарных или квазибинарных смесях, где компоненты имеют разную теплопроводность. Также может использоваться для измерения давления в вакуумных системах.
Датчик теплопроводности газа TCS205 производства HLP (Германия) изготовлен с использованием передовой технологии MEMS. Это концентрационный датчик, реагирующий на разницу теплопроводности измеряемого компонента и эталонного газа.
Манометр MTCS2305 измеряет теплопроводность по принципу Пирани. Это специализированное MEMS-устройство в компактном корпусе TO39.
Теплопроводный газовый датчик изготавливается на кремниевой подложке с использованием тонкопленочного осаждения и кремниевой микромеханики. Устройство может определять концентрацию газа в бинарных или тройных газовых смесях.
Манометры серии MTCS2300 — это специализированные MEMS-устройства, измеряющие теплопроводность по принципу Пирани. Они выпускаются в компактных корпусах TO8 или TO39.
Датчик теплопроводности газа TCS208F изготовлен с использованием технологии MEMS. Это концентрационный датчик, реагирующий на разницу теплопроводности измеряемого компонента и эталонного газа.
XEN-5320 определяет состав газа по измерению повышения температуры микромеханического нагревательного элемента.
