مقياس تدفق الغاز الأمريكي Siargo رقاقة استشعار تدفق MEMS - سلسلة MF3000
تدفق كتلي، تقنية استشعار المجال الزمني
تغطية كاملة للنطاق من (0~2) SLPM إلى (0~1500) SLPM
دقة عالية على كامل النطاق وتكرارية ممتازة
يمكن قياس غازات متعددة دون تصحيح خاص
خيارات متعددة لإشارات الخرج
يدعم طرق اتصال متعددة، سهل التركيب والاستخدام
مقدمة المنتج
مقياس تدفق الغاز الأمريكي Siargo رقاقة استشعار تدفق MEMSوصف سلسلة MF3000:
تستخدم سلسلة MF3000 لمقاييس تدفق الغاز تصميمًا جانبيًا وتستخدم رقاقة استشعار تدفق MEMS الحصرية لدينا، وتدمج تقنية استشعار التدفق في المجال الزمني والإلكترونيات الذكية. مقارنة بتقنيات استشعار التدفق الحراري التقليدية في السوق، تلغي تقنية استشعار التدفق في المجال الزمني الفريدة هذه حساسية بعض الغازات الشائعة. وبالنسبة للغازات الحساسة الأخرى، يمكن دمجها مع البرمجيات لتحقيق التعرف على الغاز. سطح رقاقة MEMS مغطى بطبقة خزفية من نيتريد السيليكون، مع طلاء نانوي مقاوم للماء والزيت، مما يحسن بشكل كبير أداء المنتج وموثوقيته. توفر تقنية استشعار التدفق في المجال الزمني أيضًا خطية أفضل وتقلل بشكل كبير من تأثير درجة الحرارة.
يمكن لسلسلة MF3000 لمقاييس تدفق الغاز قياس تدفق الغاز الكتلي مباشرة، وهي مناسبة لجميع أنواع الغازات النظيفة والجافة. يغطي نطاق قياس MF3000 من (0~2) SLPM إلى (0~1500) SLPM، مع زيادة أقصى ضغط عمل إلى 0.8MPa. يوفر MF3000 إشارات خرج متعددة، ويمكن تحقيق جمع البيانات وإعداداتها عن بعد عبر واجهات الاتصال الرقمية RS485 أو IC، مع خيار إخراج إشارة تبديل NPN أو PNP. يتميز MF3000 أيضًا بشاشة LED رقمية ووظائف أزرار، مما يسمح للمستخدمين بضبط أو الاستعلام عن معلمات مقياس التدفق في الموقع.
مقياس تدفق الغاز الأمريكي Siargo رقاقة استشعار تدفق MEMSسلسلة MF3000ميزات المنتج:
تدفق كتلي، تقنية استشعار المجال الزمنيتغطية كاملة للنطاق من (0~2) SLPM إلى (0~1500) SLPM
دقة عالية على كامل النطاق وتكرارية ممتازة
يمكن قياس غازات متعددة دون تصحيح خاص
خيارات متعددة لإشارات الخرج
يدعم طرق اتصال متعددة، سهل التركيب والاستخدام
مقياس تدفق الغاز الأمريكي Siargo رقاقة استشعار تدفق MEMSمعلمات سلسلة MF3000:
