미국 Siargo 가스 질량 유량계 MEMS 유량 센서 칩 - MF3000 시리즈

미국 Siargo 가스 질량 유량계 MEMS 유량 센서 칩MF3000 시리즈 설명:

MF3000 시리즈 가스 질량 유량계는 바이패스 설계를 채택하고 당사 고유의 MEMS 유량 센서 칩을 사용하며, 시간 영역 유량 센싱 기술과 지능형 전자 기술을 통합했습니다. 시장의 기존 열량식 유량 센싱 기술과 비교하여, 이 독특한 시간 영역 유량 센싱 기술은 일부 일반 가스의 민감도를 제거합니다. 다른 민감한 가스의 경우 소프트웨어와 함께 가스 식별을 구현할 수 있습니다. MEMS 칩 표면은 질화규소 세라믹 재료로 패시베이션되고 방수, 방유 나노 코팅과 결합되어 제품 성능과 신뢰성이 크게 향상되었습니다. 시간 영역 유량 센싱 기술은 또한 더 나은 선형성을 제공하고 온도 효과를 크게 줄입니다.

MF3000 시리즈 가스 질량 유량계는 가스 질량 유량을 직접 측정할 수 있으며 다양한 청정 건조 가스에 적합합니다. MF3000 측정 범위는 (0~2) SLPM ~ (0~1500) SLPM을 커버하며, 최대 작동 압력은 0.8MPa로 향상되었습니다. MF3000은 다양한 신호 출력을 제공하며, RS485 또는 I2C 디지털 통신 인터페이스를 통해 원격 데이터 수집 및 설정이 가능하고, NPN 또는 PNP 스위치 신호 출력을 선택할 수 있습니다. MF3000은 또한 LED 디지털 디스플레이와 키 기능을 갖추고 있어 사용자가 현장에서 유량계 매개변수를 조정하거나 조회할 수 있습니다.

미국 Siargo 가스 질량 유량계 MEMS 유량 센서 칩MF3000 시리즈제품 특징:

질량 유량, 시간 영역 센싱 기술
전 범위 커버 (0~2) SLPM ~ (0~1500) SLPM
전 범위 높은 정확도와 우수한 반복성
특별한 보정 없이 다양한 가스 측정 가능
다양한 출력 신호 선택 가능

다양한 연결 방식 지원, 설치 및 사용 용이

미국 Siargo 가스 질량 유량계 MEMS 유량 센서 칩MF3000 시리즈 매개변수: