アメリカSiargo ガス質量流量計 MEMS流量センシングチップ - MF3000シリーズ

アメリカSiargo ガス質量流量計 MEMS流量センシングチップMF3000シリーズ 説明：

MF3000シリーズガス質量流量計はバイパス設計を採用し、当社独自のMEMS流量センシングチップを統合し、時間領域流量センシング技術とスマートエレクトロニクス技術を統合しています。市場の従来の熱式流量センシング技術と比較して、この独自の時間領域流量センシング技術は、いくつかの一般的なガスに対する感度を排除します。他の感度の高いガスについては、ソフトウェアと組み合わせてガス識別を実現できます。MEMSチップ表面は窒化ケイ素セラミック材料でパッシベーションされ、防水・防油ナノコーティングと組み合わせることで、製品の性能と信頼性が大幅に向上します。時間領域流量センシング技術はまた、より良い直線性を提供し、温度効果を大幅に低減します。

MF3000シリーズガス質量流量計は、ガス質量流量を直接測定でき、あらゆる種類の清潔で乾燥したガスに適しています。MF3000の測定範囲は（0~2）SLPMから（0~1500）SLPMをカバーし、最大動作圧力は0.8MPaに向上しました。MF3000は複数の信号出力を提供し、RS485またはI²Cデジタル通信インターフェースを介してリモートデータ収集と設定が可能で、NPNまたはPNPスイッチ信号出力を選択できます。MF3000はLEDデジタル表示とキー機能も備えており、ユーザーが現場で流量計のパラメータを調整または照会できます。

アメリカSiargo ガス質量流量計 MEMS流量センシングチップMF3000シリーズ製品特長：

質量流量、時間領域センシング技術
全レンジカバー（0~2）SLPMから（0~1500）SLPM
全レンジ高精度と優れた再現性
特別な補正なしで多種のガスを測定可能
複数の出力信号から選択可能

複数の接続方法をサポート、取り付けと使用が容易

アメリカSiargo ガス質量流量計 MEMS流量センシングチップMF3000シリーズ パラメータ：