مقدمة المنتج
أولاً، وصف مستشعر تدفق الغاز FS4001:
مستشعر تدفق الكتلة FS4001يستخدم تقنية مستشعر تدفق MEMS الحصرية من siargo مع تقنية التغليف. نطاق القياس لهذا المستشعر هو 0~30 sccm إلى 0~1000 sccm. يتم تحقيق تدفق كل طراز من خلال التغليف المصمم خصيصًا والإلكترونيات الذكية للوصول إلى الحساسية المناسبة.
صندوق التغليف مصنوع من مادة البولي كربونات الخاملة كيميائيًا والمستقرة حرارياً. تصنيف الضغط الأعلى هو 5 بار (73 PSI)، بفضل بنية رقاقة MEMS الفريدة من siargo وتقنية التغليف الخاصة وهيكل المستشعر المتين.
يمكن استخدام FS4001 في مجموعة واسعة من التطبيقات بما في ذلك الأجهزة (مثل قياس الطيف الكتلي بالكروماتوغرافيا الغازية)، وكشف التسرب، والتحكم في العمليات، وقياس تدفق الغاز، والتطبيقات الطبية. يتطلب FS4001 مصدر طاقة 8~24 فولت تيار مستمر ويوفر واجهة مستخدم تناظرية و/أو رقمية. الإخراج التناظري خطي من 0.5 إلى 4.5 فولت تيار مستمر من صفر إلى التدفق الكامل. الإخراج الرقمي عبر I2C، ونقل RS232، ويمكن العثور على بروتوكول اتصال RS232 في هذا الدليل.
ثانيًا، الخصائص الرئيسية لمستشعر تدفق الغاز FS4001:
1) حساسية عالية للمستشعر مع تدفق بدء صغير جدًا
2) تستخدم رقاقة المستشعر قياس التدفق الكتلي الحراري، دون الحاجة إلى تعويض درجة الحرارة والضغط، مما يضمن قياسًا عالي الدقة
3) تحقيق تكامل متعدد المستشعرات على رقاقة واحدة، مما يزيد بشكل كبير من نسبة المدى
4) استقرار عالي لنقطة الصفر
5) استقرار عالي على المدى الكامل
6) دقة عالية على المدى الكامل وتكرار ممتاز
7) استهلاك منخفض للطاقة
8) انخفاض فقدان الضغط
9) زمن استجابة سريع
ثالثًا، التطبيقات النموذجية لمستشعر تدفق الغاز FS4001:
مناسب لقياس تدفق كتلة الغاز ذات التدفق المنخفض.
رابعًا، مخطط كتلة مستشعر تدفق الغاز FS4001:
يظهر مخطط الكتلة الوظيفي في الشكل أدناه. يتم تشغيل رقاقة مستشعر MEMS بواسطة دائرة تشغيل المستشعر وإرسال محول الجهد المرتبط بالتدفق. يعالج المتحكم الدقيق الحرف التاسع عشر من الأبجدية الإنجليزية؛
(التضخيم، التصفية، إلخ) يحول الجهد إلى تدفق. يتم إرسال إشارة التدفق عبر تنسيق تناظري أو تناظري ورقمي (RS232).
