製品紹介
一、ガス質量流量センサー-FS4001説明：
FS4001質量流量センサーsiargo独自のMEMS流量センサーとパッケージング技術を使用しています。このセンサーの測定範囲は0〜30 sccmから0〜1000 sccmです。各モデルの流量は、特別に設計されたパッケージとスマートエレクトロニクスにより、適切な感度を達成します。
パッケージは化学的に不活性で熱的に安定したポリカーボネート材料で作られています。圧力定格は最大5BAR（73 PSI）で、siargo独自のMEMSチップ構造、特殊なパッケージング技術、堅牢なセンサーハウジングの利点があります。
FS4001は、ガスクロマトグラフィー質量分析などの機器、リーク検出、プロセス制御、ガス流量計測、医療用途など幅広い用途に使用できます。FS4001は8〜24 VDC電源を必要とし、アナログおよび/またはデジタルユーザーインターフェースを提供します。アナログ出力は0.5〜4.5 VDCの線形で、0からフルスケール流量に相当します。デジタル出力はI2C出力、RS232伝送で、RS232通信プロトコルはこのマニュアルに記載されています。
二、ガス質量流量センサー-FS4001主な特徴：
1）センサー感度が高く、極小の始動流量を持つ
2）センサーチップは熱式質量流量計測を採用し、温度圧力補償が不要で、センサーの高精度計測を保証
3）単一チップ上でマルチセンサー集積を実現し、センサーのレンジ比を大幅に向上
4）センサーのゼロ点安定度が高い
5）フルスケールで高い安定性
6）フルスケールで高精度かつ優れた再現性
7）低消費電力
8）低圧力損失
9）高速応答時間
三、ガス質量流量センサー-FS4001代表的な用途：
小流量ガス質量の流量測定に適しています。
四、ガス質量流量センサー-FS4001ブロック図：
機能ブロック図を以下に示します。MEMSセンサーチップのセンサー駆動回路は電源を供給し、流量に関連する電圧をコンバータに送信します。マイクロコントローラは英字アルファベットの19番目の文字を処理します；
（増幅、フィルタリングなど）電圧を流量に変換します。流量信号はアナログまたはアナログおよびデジタル形式（RS232）で送信されます。
