جهاز تحكم تدفق الغاز الكتلي MEMS من Siargo الأمريكي - سلسلة MFC2000

جهاز تحكم تدفق الغاز الكتلي MEMS من Siargo الأمريكيوصف سلسلة MFC2000:

يوفر دليل المنتج هذا معلومات أساسية عن جهاز تحكم تدفق الغاز الكتلي من سلسلة MFC2000، والذي يمكن استخدامه للتحكم في تدفق الغازات غير المسببة للتآكل، ويغطي التدفق الكتلي من 50 مللتر/دقيقة إلى 200 لتر/دقيقة، ويمكن توفير تحكم بإشارة تماثلية 0-5 فولت أو 4-20 مللي أمبير، أو تحكم بإشارة رقمية RS485 Modbus. يتضمن دليل المنتج هذا مؤشرات الأداء والأبعاد الميكانيكية والتركيب والضمان وخدمة العملاء ومعلومات الطلب.

نطاق التحكم لجهاز تحكم التدفق الكتلي MFC2000 يصل إلى 100:1، ويمكن أن يعمل عند ضغط 0.1~0.8 ميجا باسكال، ودرجة حرارة -10~50 درجة مئوية، وواجهة ميكانيكية NPT 1/8 بوصة إلى NPT 1/2 بوصة، ويمكن تخصيص واجهات ميكانيكية أخرى.
يستخدم جهاز تحكم التدفق الكتلي MFC2000 شريحة استشعار تدفق MEMS الحصرية لدينا، والتي تدمج تقنية استشعار تدفق المجال الزمني والتقنية الإلكترونية الذكية. مقارنة بتقنية استشعار التدفق الحراري التقليدية الموجودة في السوق، فإن تقنية استشعار تدفق المجال الزمني الفريدة هذه تلغي حساسية بعض الغازات الشائعة. وبالنسبة للغازات الحساسة الأخرى، يمكن دمجها مع البرنامج لتحقيق التعرف على الغاز. سطح شريحة MEMS مغطى بطبقة خزفية من نيتريد السيليكون، ومدمج مع طلاء نانوي مقاوم للماء والزيت، مما يحسن أداء المنتج وموثوقيته بشكل كبير. توفر تقنية استشعار تدفق المجال الزمني أيضًا خطية أفضل وتقلل بشكل كبير من تأثير درجة الحرارة.

ملاحظة: mLn/min و Ln/min تشير إلى التدفق القياسي في الظروف القياسية (0 درجة مئوية، 101.325 كيلو باسكال).

جهاز تحكم تدفق الغاز الكتلي MEMS من Siargo الأمريكيسلسلة MFC2000الميزات:

تدفق الكتلة، تقنية استشعار المجال الزمني
نسبة المدى 100:1
نطاق الضغط 0.1~0.8 ميجا باسكال
يمكن قياس مجموعة متنوعة من الغازات دون تصحيح خاص
واجهة ميكانيكية قابلة للتخصيص
خيارات اتصال قياسية متعددة متاحة

جهاز تحكم تدفق الغاز الكتلي MEMS من Siargo الأمريكيسلسلة MFC2000الاختيار:

جهاز تحكم تدفق الغاز الكتلي MEMS من Siargo الأمريكيسلسلة MFC2000المعلمات والأبعاد: