제품 소개
미국 Siargo MEMS 가스 질량 유량 컨트롤러MFC2000 시리즈 설명:
이 제품 설명서는 MFC2000 시리즈 가스 질량 유량 컨트롤러의 기본 정보를 제공하며, 비부식성 가스 유량 제어에 사용할 수 있고, 질량 유량 50mLn/min ~ 200Ln/min을 포함하며, 0~5V 또는 4~20mA 아날로그 신호 제어 또는 RS485 Modbus 디지털 신호 제어를 제공할 수 있습니다. 이 제품 설명서는 성능 사양, 기계적 치수, 설치 및 보증, 고객 서비스 및 주문 정보를 포함합니다.
MFC2000 질량 유량 컨트롤러의 제어 범위는 100:1까지 가능하며, 0.1~0.8MPa, -10~50°C에서 작동할 수 있고, 기계적 인터페이스는 NPT 1/8" ~ NPT 1/2"이며, 다른 기계적 인터페이스도 맞춤 제작할 수 있습니다.MFC2000 질량 유량 컨트롤러는 당사의 독점 MEMS 유량 센싱 칩을 사용하며, 시간 영역 유량 센싱 기술과 지능형 전자 기술을 통합했습니다. 시장의 기존 열량식 유량 센싱 기술과 비교하여, 이 독특한 시간 영역 유량 센싱 기술은 일부 일반적인 가스의 민감도를 제거합니다. 다른 민감한 가스의 경우 소프트웨어를 통해 가스 식별을 구현할 수 있습니다. MEMS 칩 표면은 질화규소 세라믹 재료로 패시베이션되고 방수, 방유 나노 코팅과 결합되어 제품 성능과 신뢰성이 크게 향상되었습니다. 시간 영역 유량 센싱 기술은 또한 더 나은 선형성을 제공하고 온도 영향을 크게 줄입니다.
참고: mLn/min 및 Ln/min은 표준 상태(0°C, 101.325kPa)에서의 표준 유량을 나타냅니다.
미국 Siargo MEMS 가스 질량 유량 컨트롤러MFC2000 시리즈특징:
질량 유량, 시간 영역 센싱 기술
측정 범위 비율 100:1
압력 범위 0.1~0.8MPa
특별한 보정 없이 다양한 가스 측정 가능
기계적 인터페이스 맞춤 제작 가능
다양한 표준 통신 옵션 선택 가능
미국 Siargo MEMS 가스 질량 유량 컨트롤러MFC2000 시리즈선정:
미국 Siargo MEMS 가스 질량 유량 컨트롤러MFC2000 시리즈파라미터 및 치수:
주요 응용 분야
- 반도체 제조 — 반도체 공정에서 고순도 가스의 정밀한 유량 제어 및 모니터링에 사용됩니다.
- 의료 장비 — 의료용 가스 공급 시스템에서 정확한 가스 유량 제어가 필요한 호흡기 및 마취 장비에 적용됩니다.
- 환경 모니터링 — 대기 오염 측정 및 배출가스 모니터링 시스템에서 가스 샘플링 유량을 정밀하게 제어합니다.
- 산업용 가스 제어 — 비부식성 가스의 질량 유량을 정밀 제어하여 공정 자동화 및 품질 관리를 지원합니다.
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