製品紹介
アメリカSiargo MEMSガス質量流量コントローラMFC2000シリーズ説明:
本製品マニュアルは、MFC2000シリーズガス質量流量コントローラの基本情報を提供します。非腐食性ガスの流量制御に使用でき、質量流量50mLn/min〜200Ln/minをカバーし、0〜5Vまたは4〜20mAのアナログ信号制御、またはRS485 Modbusデジタル信号制御を提供できます。本マニュアルには、性能仕様、機械的寸法、設置と保証、カスタマーサービス、注文情報などが含まれています。
MFC2000質量流量コントローラの制御範囲は100:1に達し、圧力0.1〜0.8MPa、温度-10〜50℃で動作可能で、機械的インターフェースはNPT 1/8インチ〜NPT 1/2インチで、他の機械的インターフェースもカスタマイズ可能です。MFC2000質量流量コントローラは、当社独自のMEMS流量センシングチップを採用し、時間領域流量センシング技術とスマートエレクトロニクス技術を統合しています。市場の従来の熱式流量センシング技術と比較して、この独自の時間領域流量センシング技術は、いくつかの一般的なガスに対する感度を排除します。他の感度の高いガスについては、ソフトウェアと組み合わせてガス識別を実現できます。MEMSチップ表面は窒化ケイ素セラミック材料でパッシベーションされ、防水・防油ナノコーティングと組み合わせることで、製品の性能と信頼性が大幅に向上します。時間領域流量センシング技術は、より良い直線性も提供し、温度効果を大幅に低減します。
注記: mLn/minおよびLn/minは、標準状態（0℃、101.325kPa）での標準流量を示します。
アメリカSiargo MEMSガス質量流量コントローラMFC2000シリーズ特長:
質量流量、時間領域センシング技術
レンジ比100:1
圧力範囲0.1〜0.8MPa
特別な補正なしで多種のガスを測定可能
機械的インターフェースはカスタマイズ可能
各種標準通信オプションが選択可能
アメリカSiargo MEMSガス質量流量コントローラMFC2000シリーズ選定:
アメリカSiargo MEMSガス質量流量コントローラMFC2000シリーズパラメータ寸法:
