产品介绍
AMTAGP11シリーズはピエゾ抵抗式真空ゲージであり、高精度・高安定性の拡散シリコンオイル充填センサーコア、および電子コントローラとセンサーの一体化モジュール設計を採用し、半導体材料のピエゾ抵抗効果と良好な弾性変形性能を利用し、精湛な封止技術と完備された組立工程により、本製品の品質と性能を確保しています。アナログ電圧出力を提供し、高精度、高安定性、強い耐腐食性、良好な再現性、軽量、低メンテナンスコストなどの利点があります。
主な応用分野
- 半導体製造装置 — 真空チャンバー内の圧力監視と制御に最適。高精度な測定でプロセス安定性を向上。
- 真空コーティング — スパッタリングや蒸着プロセスにおける真空度の正確な測定と管理。
- 研究開発 — 実験室や研究施設での真空圧力測定に適し、信頼性の高いデータを提供。
- 産業用真空システム — 各種真空ポンプや真空炉の圧力監視に使用され、システムの効率と安全性を確保。
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