제품 소개
AMTAGP11 시리즈는 압저항식 진공 게이지로, 고정밀·고안정성 확산 실리콘 오일 충전 센서 코어와 전자 컨트롤러 및 센서 일체형 모듈 설계를 채택하였으며, 반도체 재료의 압저항 효과와 우수한 탄성 변형 성능을 이용하고, 뛰어난 패키징 기술과 완벽한 조립 공정을 통해 제품의 품질과 성능을 보장합니다. 아날로그 전압 출력을 제공하며, 높은 정밀도, 높은 안정성, 강한 내식성, 우수한 반복성, 가벼운 무게, 낮은 유지보수 비용 등의 장점을 가지고 있습니다.
주요 응용 분야
- 반도체 제조 — 진공 증착, 식각, 스퍼터링 공정에서 진공도를 정밀하게 측정 및 제어합니다.
- 진공 코팅 — 디스플레이, 광학 렌즈 등의 진공 코팅 시스템에서 안정적인 진공 측정을 제공합니다.
- 열처리 및 소결 — 진공 열처리로 및 소결로의 진공 압력을 모니터링하여 공정 품질을 향상시킵니다.
- 분석 장비 — 질량 분석기, 전자 현미경 등 고진공 분석 장비의 진공 상태를 측정합니다.
- 플라즈마 공정 — 플라즈마 세정, 에칭 장비에서 진공 압력을 실시간으로 감지합니다.
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