AMTAGP11-Serie piezoresistiver Vakuummessumformer - AMTAGP11-Serie
| 参数 | Wert |
|---|---|
| Produktmodell | AMTAGP11-Serie |
| 量程 | 0~100Torr、0~1000Torr |
| Genauigkeit | ±0.5%FS |
| Versorgungsspannung | 12~24VDC |
| Ausgangssignal | 0~10VDC、4~20mA |
| Überlastdruck | 300KPa |
| Lastwiderstand | 10kΩ |
| Betriebstemperatur | 5~45℃ |
| 存储温度 | -5~+60℃ |
| Im Vakuum exponierten Materialien | Edelstahl 304 |
| Anschlussart | KF16 |
| Gewicht | 189g (Version ohne Anzeige), 249g (Version mit Digitalanzeige) |
Produktvorstellung
Die AMTAGP11-Serie ist ein piezoresistiver Vakuummessumformer, der einen hochpräzisen, hochstabilen Diffusions-Silizium-Öldrucksensor-Kern sowie ein integriertes Moduldesign aus elektronischem Controller und Sensor verwendet. Durch die Nutzung des piezoresistiven Effekts von Halbleitermaterialien und der guten elastischen Verformungseigenschaften, kombiniert mit fortschrittlicher Verpackungstechnik und perfektem Montageverfahren, werden Qualität und Leistung dieses Produkts sichergestellt. Er bietet analogen Spannungsausgang und zeichnet sich durch hohe Genauigkeit, hohe Stabilität, starke Korrosionsbeständigkeit, gute Wiederholbarkeit, geringes Gewicht und niedrige Wartungskosten aus.
Hauptanwendungsbereiche
- Halbleiterfertigung — Überwachung und Steuerung von Vakuumprozessen in Ätz-, CVD- und PVD-Anlagen.
- Vakuumöfen — Druckmessung in Hochtemperatur-Vakuumöfen für die Wärmebehandlung und Materialforschung.
- Beschichtungsanlagen — Vakuumdruckregelung in Sputter- und Verdampfungsanlagen für präzise Dünnschichtabscheidung.
- Forschungsinstitute — Einsatz in wissenschaftlichen Experimenten, die präzise Vakuummessungen erfordern.
- Pharmazeutische Industrie — Vakuumüberwachung in Gefriertrocknungs- und Sterilisationsprozessen.
Schlüsselwörter：Piezoresistiver Vakuumsensor, Vakuummessumformer, AMTAGP11, Drucksensor, Vakuumdruckmessung, 0-1000 Torr Sensor, KF16 Vakuumanschluss, Industrieller Drucksensor
