Серия AMTAGP11 пьезорезистивный вакуумметр - серия AMTAGP11
| 参数 | Значение |
|---|---|
| Модель продукта | Серия AMTAGP11 |
| 量程 | 0~100Torr、0~1000Torr |
| 精度 | ±0.5%FS |
| Напряжение питания | 12~24VDC |
| Выходной сигнал | 0~10VDC、4~20mA |
| Перегрузочное давление | 300KPa |
| Сопротивление нагрузки | 10kΩ |
| Рабочая температура | 5~45℃ |
| 存储温度 | -5~+60℃ |
| Материалы, подвергаемые воздействию вакуума | Нержавеющая сталь 304 |
| Способ подключения | KF16 |
| Вес | 189 г (модель без дисплея), 249 г (модель с цифровым дисплеем) |
产品介绍
Серия AMTAGP11 — это пьезорезистивный вакуумметр, в котором используется высокоточный, высокостабильный диффузионный кремниевый маслонаполненный сенсорный элемент, а также модульная конструкция с интеграцией электронного контроллера и датчика. Благодаря пьезорезистивному эффекту полупроводниковых материалов и хорошим упругим деформационным свойствам, а также превосходной технологии герметизации и совершенному процессу сборки обеспечиваются качество и характеристики изделия. Обеспечивает аналоговый выходной сигнал напряжения, обладает такими преимуществами, как высокая точность, высокая стабильность, сильная коррозионная стойкость, хорошая повторяемость, малый вес и низкие затраты на обслуживание.
Основные области применения
- Полупроводниковая промышленность — Контроль вакуума в процессах осаждения, травления и напыления.
- Вакуумные печи — Измерение давления в печах отжига и спекания.
- Аналитическое оборудование — Мониторинг вакуума в масс-спектрометрах и электронных микроскопах.
- Химическая промышленность — Контроль давления в реакторах и дистилляционных установках.
- Научные исследования — Измерение вакуума в лабораторных экспериментах и ускорителях.
Ключевые слова:пьезорезистивный вакуумметр, вакуумный датчик, датчик давления, AMTAGP11, вакуумметр 1000 Торр, преобразователь давления, промышленный вакуумметр, датчик вакуума