코팅 시스템의 고급 요구를 위해, 유량 120ML/MIN 미만의 탄화수소 화합물(예: 포토레지스트 및 용제)을 측정하는 반도체급 센서 솔루션인 신제품 SLQ-QT105 액체 유량 센서를 출시합니다. 충분히 검증된 열식 마이크로 센서 기술을 사용하여 감도, 안정성 및 속도 측면에서 새로운 높이를 열었습니다. 액체 유량 센서 SLQ-QT105의 매우 짧은 응답 시간은 정확한 모니터링을 가능하게 합니다.
LG01 시리즈 유량 스위치 센서는 초저유량 또는 유체 시스템 내 공기 존재를 감지하여 신뢰성을 높입니다. 분당 밀리리터 이하의 미세 유량도 측정할 수 있습니다. 액체 유량 센서 LG01은 비침습적 측정 원리를 기반으로 내부 유리 모세관 벽을 통해 현재 유체 상태를 감지합니다. 따라서 이 센서는 우수한 생체 적합성과 내화학성을 갖추고 있습니다. 액체 유량 검출기는 100ms 미만의 응답 시간으로 측정할 수 있습니다.
새로운 SLQ-QT500 액체 유량 센서는 수성 액체와 탄화수소계 액체를 측정할 수 있으며, 유량은 120ml/min입니다. 이는 반도체 산업의 스프레이 시스템 합성 및 기타 산업의 계량 및 유량 응용 분야의 광범위한 조합에 이상적입니다.
PLF2000 시리즈 액체 유량 센서는 기계식 터빈 유량 센서를 대체합니다. MEMS 열 유량 칩을 핵심으로 하는 PLF2000은 더 높은 정밀도와 반복성을 가지며, 유량 맥동이 있는 경우에도 선형 디지털 출력을 제공합니다.