ALS1系列 微流量液体流量计 - AMT-ALS1系列

AMT-ALS1系列是一款运用热式流量测量原理精心打造的微流量液体流量传感器。当流体流经内置微型加热器时，上下游温度传感器检测温差变化，而这一温差值与流量存在着精确的函数关系，借此可实现对mL级流量乃至μL级的液体流量的高精度测量。该传感器集成了自研的MEMS芯片搭配24位ADC，具有高精度、快速响应、无活动部件、抗污染能力强等特点，是半导体精密制造、生物医药、体外诊断等高端领域实现国产替代的优选方案。

AMT-ALS1系列微流量液体流量传感器主要应用于半导体精密制造、医疗健康、环境监测及实验分析仪器等领域。在半导体领域，用于光刻胶涂覆、湿法刻蚀及精密冷却；在环境监测领域，用于水质监测布控及碳捕集与封存（CCS）；在医疗领域，用于体外诊断（IVD）、即时诊断（POCT）及生物反应器过程控制；在实验分析领域，用于色谱仪、质谱仪及微流控系统等高端设备。