제품 소개
AMT-ALS1 시리즈는 열식 유량 측정 원리를 활용하여 정교하게 설계된 미세 유량 액체 유량 센서입니다. 유체가 내장된 마이크로 히터를 통과할 때 상하류 온도 센서가 온도 차이 변화를 감지하며, 이 온도 차이 값은 유량과 정확한 함수 관계를 가지고 있어 이를 통해 mL급 유량 나아가 μL급 액체 유량의 고정밀 측정을 실현할 수 있습니다. 이 센서는 자체 개발한 MEMS 칩과 24비트 ADC를 통합하여 고정밀, 빠른 응답, 가동 부품 없음, 강한 오염 저항성 등의 특징을 가지며, 반도체 정밀 제조, 바이오 의약, 체외 진단 등 고급 분야에서 국산 대체를 실현하는 최적의 솔루션입니다.
AMT-ALS1 시리즈 미세 유량 액체 유량 센서는 주로 반도체 정밀 제조, 의료 건강, 환경 모니터링 및 실험 분석 기기 등의 분야에 적용됩니다. 반도체 분야에서는 포토레지스트 도포, 습식 식각 및 정밀 냉각에 사용되며, 환경 모니터링 분야에서는 수질 모니터링 배치 및 탄소 포집 및 저장(CCS)에 사용되고, 의료 분야에서는 체외 진단(IVD), 현장 진단(POCT) 및 생물 반응기 공정 제어에 사용되며, 실험 분석 분야에서는 크로마토그래프, 질량 분석기 및 미세 유체 시스템 등 고급 장비에 사용됩니다.
주요 응용 분야
- 반도체 정밀 제조 — 반도체 공정에서 화학 용액 및 초순수의 미세 유량을 정밀 제어하여 공정 안정성과 수율을 향상시킵니다.
- 바이오 의약 — 바이오 의약품 생산 공정에서 배양액 및 시약의 미세 유량을 정확하게 측정하고 제어합니다.
- 체외 진단 — 체외 진단 장비에서 시료 및 시약의 μL 수준 미세 유량을 정밀하게 계량하여 진단 정확도를 높입니다.
- 분석 기기 — 액체 크로마토그래피 등 분석 기기의 이동상 미세 유량을 안정적으로 제어합니다.
- 의료 기기 — 의료용 주입 펌프 및 미세 유체 시스템에서 약물의 정밀한 유량 제어를 구현합니다.
키워드：미세 유량계, 액체 유량 센서, 열식 유량계, MEMS 유량 센서, 초소형 유량계, 정밀 유량 측정, 반도체 유량계, 바이오 의료 유량계
