产品介绍
Микро-датчик вакуума ПираниСерия PVC1000 Описание:
PVC1000系列MEMS微型皮拉尼真空传感器提供了突破性的真空测量解决方案，不但体积小，而且具有超低功耗、长寿命、低现场维护和低成本的优点。
Согласно принципу пропорциональности теплопроводности газа давлению в диапазоне низкого вакуума, микро-датчик вакуума Пирани измеряет малые изменения сопротивления нагревательного элемента. Эти изменения вызваны изменением температуры из-за передачи тепла окружающему газу и связаны с теплопроводностью газа.
Нагревательный элемент (измерительный резистор) состоит из платиновой тонкопленочной резистивной структуры, расположенной на теплоизолирующей мембране. Мембрана подвешена над микромеханической полостью, нижняя поверхность которой параллельна мембране для обеспечения точного измерения теплопроводности. Благодаря тому, что для высокоточного измерения требуется лишь небольшое количество газа (объем полости), микро-датчик вакуума Пирани обладает сверхнизким энергопотреблением и быстрым временем отклика.
На кристалле датчика имеется опорный резистор с тем же температурным коэффициентом сопротивления (TCR), что и у измерительного резистора, который используется для компенсации температуры окружающей среды.
Микро-датчик вакуума Пирани, изготовленный по MEMS-технологии, обеспечивает высокую надежность при миниатюризации.
Благодаря низкой стоимости, простоте использования и сверхнизкому энергопотреблению продукция серии PVC1000 стала отраслевым стандартом. Использование датчиков серии PVC1000 помогает клиентам улучшить существующие продукты и разрабатывать инновационные решения.
Микро-датчик вакуума ПираниСерия PVC1000Особенности:
Сверхнизкое энергопотребление <5 мВт
Быстрое время отклика <5 мс
Применим для объемов газа до 0,1 см³
Долгосрочная стабильность
Можно погружать в растворитель для очистки, что увеличивает срок службы
Микро-датчик вакуума ПираниСерия PVC1000应用：
Обнаружение утечек в герметичных вакуумных системах
Вакуумный упаковщик
Портативный цифровой вакуумметр
Микро-датчик вакуума ПираниСерия PVC1000Номинальные характеристики:
Рабочая температура: от -25 до 85 °C
Температура хранения: -40
до 90 °C
Удар: 100 г пиковое значение (5 падений, 3 оси)
