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Posifa 초소형 피라니 진공 센서 PVC1000 시리즈
Posifa 마이크로 피라니 진공 센서

Posifa 초소형 피라니 진공 센서 - PVC1000 시리즈

초저전력 <5 mW

빠른 응답 시간 <5 mSec

0.1 cm3까지의 가스 부피에 적용 가능

장기 안정성

용매에 담가 세척 가능하여 수명 연장

제품 모델: PVC1000 시리즈

제품 소개

초소형 피라니 진공 센서PVC1000 시리즈 설명:

PVC1000 시리즈 MEMS 마이크로 피라니 진공 센서는 획기적인 진공 측정 솔루션을 제공하며, 크기가 작을 뿐만 아니라 초저전력, 긴 수명, 낮은 현장 유지보수 및 저비용의 장점을 가지고 있습니다.

가스 열전도율이 저진공 범위의 압력에 비례하는 원리에 따라, 초소형 피라니 진공 센서는 가열 소자의 저항값의 미세한 변화를 측정합니다. 이 변화는 주변 가스로의 열 전달로 인한 온도 변화에 의해 발생하며, 가스 열전도율과 관련이 있습니다.

가열 소자(측정 저항)는 단열막 위에 위치한 백금 박막 저항으로 구성됩니다. 단열막은 미세 가공된 공동 위에 부유하며, 공동 바닥 표면은 단열막과 평행하여 열전도율을 정확하게 측정할 수 있도록 합니다. 소량의 가스(공동 내 부피)만으로도 고정밀 측정이 가능하기 때문에 초소형 피라니 진공 센서는 초저전력과 빠른 응답 시간을 갖습니다.


센서 칩에는 측정 저항과 동일한 온도 계수(TCR)를 가진 기준 저항이 있어 주변 온도 보상에 사용할 수 있습니다.

MEMS 기술로 생산된 초소형 피라니 진공 센서는 소형화와 동시에 높은 신뢰성을 실현했습니다.

저비용, 사용 편의성 및 초저전력으로 PVC1000 시리즈 제품은 업계 표준이 되었습니다. PVC1000 시리즈 센서를 사용하면 고객이 기존 제품을 개선하고 혁신적인 제품을 개발할 수 있습니다.


초소형 피라니 진공 센서PVC1000 시리즈특징:

초저전력 <5 mW

빠른 응답 시간 <5 mSec

0.1 cm3까지의 가스 부피에 적용 가능

장기 안정성

용매에 담가 세척 가능하여 수명 연장


초소형 피라니 진공 센서PVC1000 시리즈응용:

밀폐 진공 시스템의 누출 감지

진공 포장기

휴대용 디지털 진공 게이지


초소형 피라니 진공 센서PVC1000 시리즈정격:

작동 온도: -25 ~ 85 °C

보관 온도: -40

최대 90 °C

충격: 100 g 피크(5회 낙하, 3축)



주요 응용 분야

  • 반도체 제조 공정 — 웨이퍼 처리 챔버의 진공도를 실시간으로 모니터링하여 공정 안정성을 확보합니다.
  • 진공 포장 — 식품 및 의약품 진공 포장 라인에서 정밀한 진공 상태를 측정하고 제어합니다.
  • 분석 기기 — 질량 분석기, 가스 크로마토그래프 등 분석 장비의 진공 시스템을 정확하게 측정합니다.
  • 코팅 및 증착 — 박막 증착 및 스퍼터링 공정에서 진공도를 정밀하게 제어합니다.

키워드:피라니 진공 센서, 초소형 진공 센서, MEMS 진공 센서, Posifa PVC1000, 저전력 진공 센서, 진공도 센서, 피라니 게이지, 반도체 진공 센서