وحدة تحكم تدفق الكتلة الغازية - سلسلة SFC5000

وحدة تحكم تدفق الكتلة الغازية سلسلة SFC5000وصف المنتج

تساعد وحدات تحكم تدفق الكتلة الغازية من سلسلة SFC5000 في تحقيق تحكم دقيق وقابل للتكرار للغاية ضمن نطاق قياس ديناميكي واسع. يعتمد الأداء المتميز لوحدة تحكم تدفق الكتلة الغازية على تقنية CMOSens® المبتكرة من Sensirionتقنية CMOSens®التي تدمج عنصر استشعار عالي الدقة ودوائر معالجة الإشارات التناظرية/الرقمية على شريحة سيليكون CMOS واحدة. على الشريحة، يتم تحويل إشارة المستشعر مباشرة إلى إشارة رقمية معايرة بالكامل ومعوضة لدرجة الحرارة. تتميز وحدة التحكم في تدفق الكتلة بواجهات تناظرية ورقمية. بالإضافة إلى ذلك، توفر وظائف اختيارية جديدة مثل قياس الغازات المتعددة، والتعرف على الغاز، وقدرات الفحص الذاتي. سلسلة SFC5000 من وحدات تحكم تدفق الكتلة الغازية هي الحل المثالي لمجموعة متنوعة من التطبيقات في الأسواق الصناعية والطبية بأكملها.

 

وحدة تحكم تدفق الكتلة الغازية سلسلة SFC5000الخصائص

• دقة عالية وقابلية للتكرار

• استقرار وموثوقية ممتازة على المدى الطويل

• نطاق ديناميكي واسع (نسبة المدى 1000:1)

• تحكم فائق السرعة في تدفق الغاز (زمن الاستقرار أقل من 50 مللي ثانية)

• خيارات متعددة للغازات والمدى ووظيفة التعرف على الغاز

• واجهات رقمية وتناظرية

• خيارات توصيل ميكانيكية مرنة: تركيب صفائح معدنية، VCR وVCO، Swagelok، C-/W-Seal وغيرها.

• معايرة قابلة للتتبع وفقًا لمعايير NIST

• قيمة استثنائية من تقنية CMOSens® المبتكرة

• منتجات مخصصة عند الطلب

وحدة تحكم تدفق الكتلة الغازية سلسلة SFC5000مجالات التطبيق

• الأجهزة التحليلية (مثل كروماتوغرافيا الغاز، مطياف الكتلة)

• الأجهزة الطبية (مثل أجهزة التنفس، التخدير)

• أتمتة العمليات الصناعية (مثل الطلاء، المعالجة الحرارية)

• صناعة أشباه الموصلات (مثل عمليات الحفر بالبلازما، ترسيب الأغشية الرقيقة)