가스 질량 유량 컨트롤러 - SFC5000 시리즈

SFC5000 시리즈 가스 질량 유량 컨트롤러제품 설명

SFC5000 시리즈 가스 질량 유량 컨트롤러는 넓은 동적 측정 범위에서 매우 정밀하고 반복 가능한 제어를 가능하게 합니다. 가스 질량 유량 컨트롤러의 뛰어난 성능은 Sensirion의 혁신적인CMOSens® 기술에 기반하며, 하나의 CMOS 실리콘 칩에 고정밀 센서 요소와 아날로그/디지털 신호 처리 회로를 통합합니다. 칩에서 센서 신호는 완전히 교정되고 온도 보상된 디지털 신호로 직접 변환됩니다. 이 질량 유량 컨트롤러는 아날로그 및 디지털 인터페이스를 갖추고 있습니다. 또한 다중 가스 측정, 가스 식별 및 자체 진단 기능과 같은 새로운 선택 기능을 구현합니다. SFC5000 시리즈 가스 질량 유량 컨트롤러는 산업 및 의료 시장 전반의 다양한 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.

 

SFC5000 시리즈 가스 질량 유량 컨트롤러특징

• 고정밀 및 반복성

• 우수한 장기 안정성 및 신뢰성

• 넓은 동적 범위(터렌다운 1000:1)

• 초고속 가스 유량 제어(안정화 시간 50ms 미만)

• 다중 가스, 다중 범위 선택 및 가스 식별 기능

• 디지털 및 아날로그 인터페이스

• 유연한 기계적 연결 옵션: 판금 설치, VCR 및 VCO, Swagelok, C-/W-Seal 등

• NIST 표준에 추적 가능한 교정

• 혁신적인 CMOSens® 기술에서 비롯된 탁월한 가치

• 요청 시 맞춤형 제품 제공

SFC5000 시리즈 가스 질량 유량 컨트롤러응용 분야

• 분석 기기(예: 가스 크로마토그래피, 질량 분석)

• 의료 기기(예: 인공호흡기, 마취)

• 산업 공정 자동화(예: 코팅, 열처리)

• 반도체 산업(예: 플라즈마 에칭 공정, 박막 증착)