製品紹介
SFC5000シリーズガス質量流量コントローラ製品説明
SFC5000シリーズガス質量流量コントローラは、広い動的測定範囲内で極めて正確かつ再現性のある制御を実現します。ガス質量流量コントローラの優れた性能は、Sensirionの革新的なCMOSens®テクノロジーに基づいており、高精度センサ素子とアナログ/デジタル信号処理回路を1つのCMOSシリコンチップに集積しています。チップ上で、センサ信号は直接完全に校正され、温度補償されたデジタル信号に変換されます。この質量流量コントローラはアナログおよびデジタルインターフェースを備えています。さらに、多ガス測定、ガス識別、自己診断機能などの新しいオプション機能を実装しています。SFC5000シリーズガス質量流量コントローラは、産業および医療市場全体のさまざまなアプリケーションに理想的なソリューションです。
SFC5000シリーズガス質量流量コントローラ特長
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高精度と再現性
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優れた長期安定性と信頼性
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広い動的範囲（レンジ比1000:1）
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超高速ガス流量制御（整定時間50ミリ秒未満）
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多ガス、多レンジ選択可能、ガス識別機能
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デジタルおよびアナログインターフェース
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柔軟な機械的接続オプション：板金取り付け、VCR、VCO、Swagelok、C-/Wシールなど。
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校正はNIST標準にトレーサブル
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革新的なCMOSens®テクノロジーによる優れた価値
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カスタマイズ製品はご要望に応じて提供可能
SFC5000シリーズガス質量流量コントローラ応用分野
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分析機器（例：ガスクロマトグラフィー、質量分析）
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医療機器（例：人工呼吸器、麻酔）
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産業プロセス自動化（例：コーティング、熱処理）
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半導体産業（例：プラズマエッチングプロセス、薄膜堆積）
