O medidor de condutividade térmica XEN-3880-P2RW mede a condutividade térmica do gás circundante. O princípio é que diferentes gases têm diferentes condutividades térmicas, podendo ser usado para medir a concentração de gás em misturas binárias ou quase binárias, onde os gases componentes têm condutividades térmicas diferentes. Também pode ser usado para medir pressão em sistemas de vácuo.
O sensor de condutividade térmica de gás TCS205 da HLP Alemanha é produzido com tecnologia avançada de microfabricação MEMS, utilizando a diferença de condutividade térmica entre o componente medido e o gás de referência para responder como um sensor de concentração.
O manômetro MTCS2305 mede a condutividade térmica com base no princípio de Pirani. É um dispositivo MEMS especializado em um pequeno encapsulamento TO39.
O sensor de gás por condutividade térmica é fabricado em wafer de silício usando técnicas de deposição de filmes finos e micromecanização de silício. O dispositivo pode medir a concentração de gás em misturas binárias ou ternárias.
O manômetro da série MTCS2300 é um dispositivo MEMS especializado que mede a condutividade térmica com base no princípio de Pirani, em pequenos encapsulamentos TO8 ou TO39.
O sensor de condutividade térmica de gás TCS208F é produzido com tecnologia de microfabricação MEMS, utilizando a diferença de condutividade térmica entre o componente medido e o gás de referência para responder como um sensor de concentração.
O XEN-5320 determina a composição do gás medindo o aumento de temperatura de um elemento de aquecimento micromecânico.
