XEN-3880-P2RW 열전도율 측정기는 주변 가스의 열전도율을 측정합니다. 원리는 가스마다 열전도성이 다르므로 이원 혼합물 또는 준 이원 혼합물에서 가스 농도를 측정하는 데 사용할 수 있으며, 성분 가스는 서로 다른 열전도 계수를 가집니다. 진공 시스템의 압력을 측정하는 데에도 사용할 수 있습니다.
독일 HLP 회사의 TCS205 가스 열전도 센서는 고급 MEMS 가공 기술로 생산되며, 측정 성분과 기준 가스의 열전도 계수가 다르므로 반응하는 농도형 센서입니다.
MTCS2305 압력계는 피라니 원리에 따라 열전도율을 측정하며, 전용 MEMS 장치로 소형 TO39 패키지입니다.
열전도식 가스 센서는 박막 증착 및 실리콘 미세 가공 기술로 실리콘 웨이퍼에 제작됩니다. 이 장치는 이원 또는 삼원 가스 혼합물의 가스 농도를 측정할 수 있습니다.
MTCS2300 압력계는 전용 MEMS 장치로, 피라니 원리에 따라 열전도율을 측정하며 소형 TO8 또는 TO39 패키지입니다.
TCS208F 가스 열전도 센서는 MEMS 가공 기술로 생산되며, 측정 성분과 기준 가스의 열전도 계수가 다르므로 반응하는 농도형 센서입니다.
XEN-5320은 미세 기계 가열 요소의 온도 상승을 측정하여 가스 성분을 결정합니다.
