产品介绍
一、FS8000系列微机电气体质量流量传感器产品简介：
FS8000系列微机电气体质量流量传感器是专门为各类工业过程控制而 设计的。产品有两种测量范围，螺纹接口易于安装，可用于固晶机等多种工业设备。
二、FS8000系列微机电气体质量流量传感器产品特点:
传感器灵敏度高，有极小的始动流量
响应速度快
低压损
安装方便
三、FS8000系列微机电气体质量流量传感器技术参数：
| 项目 |
FS8001 |
FS8003 |
单位 |
| 流量范围 |
(0~500) sccm |
(0~6) SLPM |
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| 精度 |
±(2. 0+0. 5FS) |
% |
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| 重复性 |
±1. 0 |
% |
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| 零点输出漂移 |
±30 |
mV |
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| 输出漂移 |
±0. 12 |
% / ℃ |
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| 响应时间 |
10 |
ms |
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| 工作电源 |
8~24 |
VDC |
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| 输出方式 |
线性，模拟电压0.5~4.5VD C（可选IC 数字信号输出） |
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| Max工作压力 |
0.3 |
MPa |
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| 工作温度 |
0 ~ +55 |
℃ |
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| 储存温度 |
-20 ~ +65 |
℃ |
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| 工作湿度 |
<95% RH （无结冰、无凝露） |
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| 电气接口 |
SM 05B-SRSS-TB (JST) |
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| 机械接口 |
M5螺孔 |
Rc1/ 8(入口)/M 5螺孔(出口) |
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| 标准方式 |
空气（20℃，101.325kPa） |
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